显示面板用基板的制造装置制造方法及图纸

作为本发明专利技术所涉及的液晶面板（11）用的阵列基板（20）的制造装置，加热处理装置（40）具备：辊式输送机（搬运部）（41），其搬运玻璃基板（显示面板用基板）（GS）；加热处理室（43），其用于对由辊式输送机（41）搬运的玻璃基板（GS）进行加热处理；加热部（44），其配置在加热处理室（43）内，并且加热玻璃基板（GS）；内部空气循环部（47），其使加热处理室（43）内的空气循环；以及热交换部（48），其与内部空气循环部（47）连接，并且能与循环的空气之间进行热交换。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】作为本专利技术所涉及的液晶面板（11）用的阵列基板（20）的制造装置，加热处理装置（40）具备：辊式输送机（搬运部）（41），其搬运玻璃基板（显示面板用基板）（GS）；加热处理室（43），其用于对由辊式输送机（41）搬运的玻璃基板（GS）进行加热处理；加热部（44），其配置在加热处理室（43）内，并且加热玻璃基板（GS）；内部空气循环部（47），其使加热处理室（43）内的空气循环；以及热交换部（48），其与内部空气循环部（47）连接，并且能与循环的空气之间进行热交换。【专利说明】显示面板用基板的制造装置
本专利技术涉及显示面板用基板的制造装置。
技术介绍
以往，在制造作为液晶显示装置的主要构成部件的液晶面板时，为了利用光刻法对玻璃基板的表面实施各种处理(抗蚀剂涂敷处理、预焙处理、曝光处理、显影处理、后焙处理、蚀刻处理、抗蚀剂剥离处理等)而使用规定的制造装置。例如，进行预焙处理的预焙处理装置将由抗蚀剂涂敷装置涂敷了抗蚀剂的玻璃基板搬运到加热处理室内，在加热处理室内由加热器加热玻璃基板，由此使抗蚀剂所含有的有机溶剂蒸发，从而保证了抗蚀剂与作为其基底的金属膜的紧贴性。作为这种制造装置的一例，已知专利文献I所记载的制造装置。在该专利文献I所记载的制造装置中，对配置在加热处理室的近前侧的缓冲室导入利用加热处理室的排热加温后的外部空气，由此消除了玻璃基板可能产生的处理不均。_4] 现有技术文献_5] 专利文献专利文献1:特开2011-23530号公报
技术实现思路
_7] 专利技术要解决的问题另一方面，在连续地处理多个玻璃基板的情况下，将玻璃基板空开规定的时间间隔依次投入制造装置，但其投入间隔不一定总是固定的，有时会产生偏差。加热处理室内的环境温度受到玻璃基板自身所吸收的热量、抗蚀剂的有机溶剂蒸发时的气化热等的影响，因此，当玻璃基板的投入间隔产生偏差时，会有如下倾向:加热处理室内的环境温度也发生变动，投入间隔越长，加热处理室内的环境温度也越高。因此，当玻璃基板的投入间隔变长时，会有如下可能:在加热处理室内抗蚀剂被过度烘烤，在接着预焙处理而进行的曝光处理中抗蚀剂的曝光灵敏度下降。在上述的专利文献I所记载的制造装置中，具有将外部空气导入缓冲室内的构成，但难以调整加热处理室内的环境温度。而且，在专利文献I所记载的制造装置中，为导入外部空气，需要较多用于将外部空气所包含的尘埃除去的过滤器，另外，其维护或者更换的频度也高，因此，结果是有运行成本高等问题。本专利技术是基于上述状况而完成的，其目的在于合适地且以低成本调整加热处理室内的环境温度。用于解决问题的方案本专利技术的显示面板用基板的制造装置具备:搬运部，其搬运显示面板用基板；力口热处理室，其用于对由上述搬运部搬运的上述显示面板用基板进行加热处理；加热部，其配置在上述加热处理室内，并且加热上述显示面板用基板；内部空气循环部，其使上述加热处理室内的空气循环；以及热交换部，其与上述内部空气循环部连接，并且能与循环的空气之间进行热交换。这样，通过在加热处理室内利用加热部加热由搬运部搬运的显示面板用基板来进行加热处理。此时，来自加热部的热、来自被加热后的显示面板用基板的热导致加热处理室内的环境温度也会上升。在此，在连续地投入多个显示面板用基板进行加热处理的情况下，有时显示面板用基板的投入间隔会产生偏差，那样的话，有可能加热处理室内的环境温度变得过高。对于这一点，根据本专利技术，利用内部空气循环部使加热处理室内的空气循环，使该循环的空气与热交换部之间进行热交换，由此能将循环的空气冷却。由此，能够抑制加热处理室内的环境温度过度上升。此外，除了上述以外，还能在加热处理室内的环境温度下降的情况下，使在内部空气循环部中循环的空气与热交换部之间进行热交换来加温循环的空气。根据以上所述，能够合适地调整加热处理室内的环境温度。而且，在本专利技术中，通过利用内部空气循环部使加热处理室内的空气循环来谋求环境温度的调整，因此，与如以往那样在设为取入外部空气的构成的情况下过滤器的成本会增大相比,能够谋求低成本化。作为本专利技术的实施方式，优选以下的构成。(I)在上述加热处理室中在上述显示面板用基板的搬运方向在前后配置有多个上述内部空气循环部。这样，利用在加热处理室中在显示面板用基板的搬运方向在前后配置有多个的内部空气循环部，能在搬运方向的前后在每个不同的区域来调整加热处理室内的环境温度。由此，加热处理室内的环境温度在搬运方向不易产生不均，被进行加热处理的显示面板用基板在搬运方向也不易产生处理不均。(2)上述内部空气循环部具备:吸气口和吹出口，其在上述加热处理室的壁面开口 ；以及配管部，其分别将上述吸气口与上述热交换部之间以及上述热交换部与上述吹出口之间连接。这样，加热处理室内的空气从吸气口被取入而通过配管部，然后在热交换部中进行热交换。热交换后的空气通过配管部从吹出口被吹出到加热处理室内。由此,能够合适地调整加热处理室内的环境温度。(3)在上述配管部的中途连接有送风部，上述送风部从上述吸气口引入上述加热处理室内的空气，并且从上述吹出口向上述加热处理室内送风。这样，能够利用在配管部的中途连接的送风部来促进空气的循环，因此能够高效地进行加热处理室内的环境温度的调難iF.0(4)具备送风驱动部，上述送风驱动部能驱动上述送风部，调整其送风量。这样，能够利用送风驱动部来驱动送风部，从而调整其送风量。由此，能够使空气的循环量成为合适的量，能够更合适地调整加热处理室内的环境温度。(5)在上述吸气口和上述吹出口分别设置有能调整其开度的可动节流阀，具备驱动上述可动节流阀的节流阀驱动部。这样，能够通过利用节流阀驱动部驱动可动节流阀来调整吸气口、吹出口的开度。由此，能够使空气的循环量成为合适的量，能够更合适地调整加热处理室内的环境温度。(6)在上述配管部的中途连接有对从上述吸气口取入的空气进行过滤的过滤部。随着对显示面板用基板进行加热处理，有时加热处理室内的空气会含有例如蒸发后的有机溶剂等物质。在该情况下，也能够利用在配管部的中途连接的过滤部对从吸气口取入的空气进行过滤而将上述的物质除去，因此,不需要如以往那样的将加热处理室内的空气排出到外部的排气装置，从而能够谋求低成本化。(7)上述吸气口配置在上述加热处理室中相互相对的一对壁面中的一方侧，而上述吹出口配置在上述一对壁面中的另一方侧。这样，与假设将吸气口和吹出口配置在同一壁面的情况下相比，能够使加热处理室内的空气不产生不均地高效地循环。(8)上述吸气口和上述吹出口配置于上述加热处理室中沿着上述显示面板用基板的搬运方向的一对侧壁面。这样，从设置与吸气口和吹出口连接的配管部和热交换部时的布局上来说是适合的。(9)在上述一对侧壁面中，在上述显示面板用基板的搬运方向在前后配置有多个上述吸气口和上述吹出口。这样，利用在加热处理室的一对侧壁面中在显示面板用基板的搬运方向在前后配置有多个的吸气口和吹出口使空气循环，因此，能在搬运方向的前后在每个不同的区域调整加热处理室内的环境温度。由此，加热处理室内的环境温度在搬运方向不易产生不均，被进行加热处理的显示面板用基板在搬运方向也不易产生处理不均。(10)上述加热部至少配置在与上述搬运部之间隔着上述显示面板用基板的位置，上述吸气口和上述吹出口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村谦太，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：