一种发光二极管的制造方法技术

本发明专利技术提供一种发光二极管的制造方法，首先采用皮秒激光器按预设路径对所述蓝宝石衬底进行激光内切处理以在所述蓝宝石衬底内部形成内切图案，使蓝宝石衬底特定部位的结构发生变化，然后生长外延，制作发光外延结构，减薄所述蓝宝石衬底，然后沿内切图案进行裂片以完成制造。本发明专利技术采用先对蓝宝石衬底进行激光内切再进行发光层外延的工艺方法，可以避免由于激光直接或间接的对氮化镓照射而造成的损伤，有益于发光二极管发光亮度的提高及最终产品的良率提高，也避免了先在蓝宝石表面形成走道而造成发光外延产生边界效应的问题。本发明专利技术的制造方法工艺稳定，可重复性高，适用于工业生产。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种发光二极管的制造方法，其特征在于，至少包括以下步骤：1)提供一蓝宝石衬底，按预设路径对所述蓝宝石衬底进行激光内切处理，以在所述蓝宝石衬底内部形成内切图案；2)在具有内切图案的蓝宝石衬底上表面依次形成N?GaN层、量子阱层、及P?GaN层及透明导电层；3)依据所述内切图案定义出多个发光二极管阵列，并于各该阵列上制备P电极及N电极；4)从所述蓝宝石衬底下表面对所述蓝宝石衬底进行减薄，直至露出所述蓝宝石衬底内部的内切图案；5)依据所述内切图案进行裂片，以完成所述发光二极管的制造。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郝茂盛，杨杰，张楠，王辰夷，蔺华妮，
申请(专利权)人：上海蓝光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：