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一种发光二极管的制造方法技术
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文档序号:9296780
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本发明提供一种发光二极管的制造方法,首先采用皮秒激光器按预设路径对所述蓝宝石衬底进行激光内切处理以在所述蓝宝石衬底内部形成内切图案,使蓝宝石衬底特定部位的结构发生变化,然后生长外延,制作发光外延结构,减薄所述蓝宝石衬底,然后沿内切图案进行裂...
该专利属于上海蓝光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海蓝光科技有限公司授权不得商用。
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