【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种氮化物外延生长用图形衬底的制作方法,该方法包括以下步骤:????1)在衬底(20)上均匀涂布一层抗蚀剂(21);????2)将预先形成图形的压印模板(22)压到抗蚀剂(21)上;3)采用物理或者化学的方法使抗蚀剂(21)硬化,并移除压印模板(22);4)对形成图形的抗蚀剂(21)的表面实施灰化处理,去除部分抗蚀剂(21)使得此部分的衬底(20)暴露出来,抗蚀剂(21)在衬底(20)上形成抗蚀剂掩膜(23);5)将抗蚀剂(21)上的图形转移到衬底(20)上;6)去除抗蚀剂掩膜(23),完成对衬底(20)的图形化制作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴东海,刘刚,李志翔,
申请(专利权)人:南通同方半导体有限公司,同方股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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