一种连续式扩散炉炉管制造技术

技术编号:9288613 阅读:107 留言:0更新日期:2013-10-25 02:33
本实用新型专利技术提供一种连续式扩散炉炉管,包括:炉体;以及与炉体内腔壁一体成型的两排托架,两排所述托架之间具有高度差。本实用新型专利技术提供的连续式扩散炉炉管,由于设置了与炉体内腔壁一体成型的两排托架,使载有硅片的桨叶在运行的过程中避免产生挠度,有效地延长了桨叶的使用寿命,并且两排托架之间具有的高度差能够使桨叶之间进行平稳交接。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种连续式扩散炉炉管,其特征在于,包括:炉体;以及与炉体内腔壁一体成型的两排托架,两排所述托架之间具有高度差。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陆利新郑荣豪陈荣莲
申请(专利权)人:上海煦康电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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