【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多片盒升降旋转系统，其特征在于，包括：旋转机构，所述旋转机构由旋转驱动装置驱动；若干升降机构，环绕固定在所述旋转机构的外缘；其中，每一个升降机构底部设置有升降驱动装置，所述升降驱动装置顶部放置片盒。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李正贤，丁天祥，
申请(专利权)人：上海卓晶半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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