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本发明一种多片盒升降系统，其特征在于，包括：旋转机构，所述旋转机构由旋转驱动装置驱动；若干升降机构，环绕固定在所述旋转机构的外缘；其中，每一个升降机构底部设置有升降驱动装置，所述升降驱动装置顶部连接有片盒。本发明的多片盒升降系统，将多个片盒...
该专利属于上海卓晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海卓晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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