一种用于光刻设备的晶圆推片机构制造技术

本技术提出一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其包括支承装配组件、推移导向组件、导向支托组件、推移操作组件、盒体限位组件及晶圆推移组件，该晶圆推片机构的盒体限位组件由边部限位块、底部限位块和高度调节块组成，可以确保出料晶圆盒体和进料晶圆盒体在支承座板上保持固定和定位准确，从而提高晶圆推移的精度和效率，通过高度调节块，可以适应不同高度或发生磨损的晶圆盒体，进一步提高晶圆推移的精度，适用于不同尺寸和类型的晶圆盒体，具有较强的适应性，减少因晶圆盒体尺寸变化造成的对生产效率的影响，可以将晶圆排列整齐，方便机械臂进行抓取，减少因晶圆片摆放不整齐造成的生产误差，有利于提高生产效率和集成电路成品的质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路生产设备，尤其涉及一种用于光刻设备的晶圆推片机构。

技术介绍

1、在晶圆的光刻加工过程中，由于不同标准生产的晶圆盒其尺寸存在着细微的差异，使得晶圆盒在一些机型上不通用，需要将晶圆盒中的晶圆完整的转移到另一个晶圆盒中，并且在加工过程中频繁取放晶圆片，会导致其排列被打乱。专利文献cn216389303u公开一种晶圆片推片器，其包括放置部、推动部及两个挡板，放置部开设有放置槽，放置槽用于放置卡塞，推动部连接于放置部，位于放置槽的一端，用于将晶圆片从卡塞中推出，两个挡板连接于放置部，分别位于放置槽的另一端的两侧，当晶圆片从卡塞中推出后，通过晶圆片两侧的挡板限制晶圆片的移动，避免晶圆片发生侧倾，导致晶圆片滑落。然而，这种推片机构操作灵活性不佳，操作效率较低，并容易使晶圆片发生污染报废。因此，有必要对这种晶圆推片机构进行结构优化，以克服上述缺陷。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种用于光刻设备的晶圆推片机构，以提升使用灵活性，提高晶圆质量。

2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，支承装配组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，推移导向组件包括：

4.根据权利要求3所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，导向支托组件包括：

5.根据权利要求4所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，推移操作组件包括：

6.根据权利要求2所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，盒体限位组件包括：

7.根据权利要求4或6所述...

【技术特征摘要】

1.一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，支承装配组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征在于，推移导向组件包括：

4.根据权利要求3所述的一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮裕栋，
申请(专利权)人：上海卓晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：