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本技术提出一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其包括支承装配组件、推移导向组件、导向支托组件、推移操作组件、盒体限位组件及晶圆推移组件，该晶圆推片机构的盒体限位组件由边部限位块、底部限位块和高度调节块组成，可以确保出料晶圆盒体和进料晶圆盒体在支...
该专利属于上海卓晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海卓晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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