节能隧道炉用气体导流器制造技术

本实用新型专利技术提出一种节能隧道炉用气体导流器，包括：第一气室和第二气室，所述第一气室和所述第二气室均两端开口，并且所述第一气室和所述第二气室之间相互贯通，所述第一气室的内壁到外壁贯通有形成负压效应的进气孔。本实用新型专利技术提供的节能隧道炉用气体导流器，使气体高速从进气孔喷入第一气室中，在第一气室中形成均匀的气流环，此时气流环的中心部位产生低于大气压的低气压而引流周边的混合气流进入，使用少量的具有压力的气体为动力形成具有负压效应的气室内腔，以方便对混合气体进行引流。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种节能隧道炉用气体导流器。
技术介绍
众所周知，半导体元件在进入烧结工艺前，需在被烧结部位放置锡片及涂覆经有机溶剂稀释的助焊剂，所述助焊剂是一种混合物，通常由松香、联氨、聚丁烯、丙三醇、乙二醇、异丙醇、石蜡等组成。半导体元件在进入烘干及烧结工艺时，需在气体保护下完成，通常采用的气体为氮气。半导体元件在进入烘干及烧结工艺时需在高温下进行，助焊剂受高温气化成雾状，与氮气混合成二相流。助焊剂中松香未经稀释前为固相，经稀释后成为水剂， 经高温烘烤工艺而气化，使得残留的松香形成玻璃态即松香油粘附在红外辐射管表面及炉体内壁，导致红外辐射管辐射强度减弱。随着生产时间的积累，粘附物质会碳化从而污染被烧结的对象，使成品率降低。除了助焊剂中的松香对烧结对象产生不良影响外，助焊剂中的异丙醇对人体也具有危害性。此外，锡片在加热时会有二氧化锡烟气产生，烧结炉的结构会使松香烟雾、二氧化锡烟气以及氮气逃逸到烧结炉外的工作环境，因此要对混合气体进行气体自动分离及回流收集，在处理的过程中使混合气体按一定的方向进行流动起到导流作用显得尤为关键。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种节能隧道炉用气体导流器，以解决如何使混合气体按一定的方向进行流动的问题。为解决上述问题，本技术提出了一种节能隧道炉用气体导流器，所述节能隧道炉用气体导流器包括第一气室和第二气室，所述第一气室和所述第二气室均两端开口， 并且所述第一气室和所述第二气室之间相互贯通，所述第一气室的内壁到外壁贯通有形成负压效应的进气孔。优选地，所述进气孔包括进气口以及与所述进气口连通的第一气室的缝隙。优选地，所述缝隙的直径为0. 03mm 0. 07mm。优选地，所述第一气室的形状为喇叭形。优选地，所述第二气室的形状为喇叭形。优选地，所述进气孔充入的气体压强大于0. 2mpa。优选地，所述第一气室的气室体和所述第二气室的气室体之间设置有密封圈。优选地，所述节能隧道炉用气体导流器还包括一吸风罩，所述吸风罩与所述第二气室连接。优选地，所述第一气室和所述第二气室通过螺栓固定连接。本技术提供的节能隧道炉用气体导流器，使气体高速从进气孔喷入第一气室中，在第一气室中形成均勻的气流环，此时气流环的中心部位产生低于大气压的低气压而引流周边的混合气流进入，使用少量的具有压力的气体为动力形成具有负压效应的气室内腔，以方便对混合气体进行引流。进一步地，所述第一气室的气室体和所述第二气室的气室体之间设置有密封圈， 以防止气体发生漏气。进一步地，所述节能隧道炉用气体导流器包括的吸风罩能够使混合气体更容易地被引流到第二气室中。附图说明图1为本技术实施例的节能隧道炉用气体导流器的结构示意图；图2为本技术实施例的使用节能隧道炉用气体导流器的分离装置的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的节能隧道炉用气体导流器作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术的核心思想在于，提供一种节能隧道炉用气体导流器，使气体高速从进气孔喷入第一气室中，在第一气室中形成均勻的气流环，此时气流环的中心部位产生低于大气压的低气压而引流周边的混合气流进入，使用少量的具有压力的气体为动力形成具有负压效应的气室内腔，以方便对混合气体进行引流。图1为本技术实施例的节能隧道炉用气体导流器的结构示意图。参照图1，所述节能隧道炉用气体导流器10包括第一气室11和第二气室12，所述第一气室11和所述第二气室12均两端开口，并且所述第一气室11和所述第二气室12之间相互贯通，所述第一气室11的内壁到外壁贯通有形成负压效应的进气孔。具体地，所述第一气室11和所述第二气室12的形状均为喇叭形，所述第一气室11 喇叭形的小口与所述第二气室12喇叭形的小口连接。本领域的普通技术人员应该理解，所述第一气室11形状不仅仅为喇叭形，只要是能够便于产生附壁效应的形状都可以，所述第二气室12的形状也不仅仅为喇叭形，只要是便于吸进气体的形状即可。进一步地，所述进气孔包括进气口 131以及与所述进气口 131连通的第一气室的缝隙132。所述缝隙132的直径为0. 03mm 0. 07mm，在本实施例中，所述缝隙132的直径为0. 05mm。所述进气孔充入的气体压强大于等于0. 2mpa,即通过缝隙132的压强大于等于0. 2mpa，在本实施例中，所述气体的压强等于0. 2mpa，所述气体为氮气，将氮气以一定的压力大小压入第一气室11内，使氮气气流紧贴着第一气室11的内壁表面流动，产生附壁效应。使在第一气室11内喷出的氮气气流形成均勻的围绕喇叭形内壁的气流环，此时气流环中心部位产生低于大气压的低气压，该低气压会引流周边的其他气体进入。进一步地，所述第一气室11的气室体和所述第二气室12的气室体之间设置有密封圈14，所述密封圈14的设置是为了防止气体发生漏气。所述第一气室11和所述第二气室12通过螺栓15固定连接，所述第一气室11和所述第二气室12的固定连接方式不仅仅局限于螺栓15，还可以采用其他的方式固定连接。图2为本技术实施例的使用节能隧道炉用气体导流器的分离装置的结构示意图。参照图2，分离装置用于分离烧结炉炉体内气体，所述分离装置包括上述的节能隧道炉用气体导流器10，所述节能隧道炉用气体导流器10的第二气室12与烧结炉炉体连通，所述节能隧道炉用气体导流器10的第一气室11与气体输出管道21连通。具体地，所述第二气室12与烧结炉炉体的顶盖22连通。在利用气体导流器10对烧结炉炉体产生的松香烟雾、二氧化锡烟气以及氮气等混合气体进行引流前，首先用少量压强为0. 2mpa的氮气通过缝隙132进入第一气室11，如图2中向右的箭头所示为氮气通入的方向，在第一气室11内产生附壁效应，从而使高速喷出的氮气气流形成均勻的气流环， 此时气流环中心部位产生低于大气压的低气压，即第一气室11内形成一个负压的环境，与第一气室11连通的第二气室12由于第一气室11的影响而气压降低，将与第二气室12连通的烧结炉炉内的混合气体吸入第二气室12，进而进入压强更为小的第一气室11，从与第一气室11连通的气体输出管道21流出。在所述第二气室12上连接吸风罩23，以使混合气体更容易被吸入第二气室12，靠近吸风罩23的箭头表示混合气体大致的流动方向。显然，本领域的技术人员可以对技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种节能隧道炉用气体导流器，其特征在于，包括第一气室和第二气室，所述第一气室和所述第二气室均两端开口，并且所述第一气室和所述第二气室之间相互贯通，所述第一气室的内壁到外壁贯通有形成负压效应的进气孔。2.如权利要求1所述的节能隧道炉用气体导流器，其特征在于，所述进气孔包括进气口以及与所述进气口连通的第一气室的缝隙。3.如权利要求2所述的节能隧道炉用气体导流器，其特征在于，所述缝隙的直径为 0. 03mm 0. 07mm本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种节能隧道炉用气体导流器，其特征在于，包括：第一气室和第二气室，所述第一气室和所述第二气室均两端开口，并且所述第一气室和所述第二气室之间相互贯通，所述第一气室的内壁到外壁贯通有形成负压效应的进气孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆利新，朱红萍，戴硕郁，
申请(专利权)人：上海煦康电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31