【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置,包括传输带和其驱动装置,其特征在于,还包括光电传感器、称重装置、升降系统、报警装置和控制装置,所述称重装置设置在升降系统上,所述称重装置位于传输带的下方,所述称重装置、升降系统、光电传感器及报警装置均与控制装置连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吕俊,许松源,孙伦郑,张虎,王艾华,赵建华,
申请(专利权)人:中电电气南京光伏有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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