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本实用新型公开一种防止离子注入机反应腔室引起故障的传输装置，包括传输带和其驱动装置，还包括光电传感器、称重装置、升降系统、报警装置和控制装置，所述称重装置设置在升降系统上，所述称重装置位于传输带的下方，所述称重装置、升降系统、光电传感器及报...
该专利属于中电电气（南京）光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电电气（南京）光伏有限公司授权不得商用。

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