用于传送衬底的装置和方法制造方法及图纸

技术编号:9241441 阅读:119 留言:0更新日期:2013-10-10 05:25
一种衬底传送装置包括被构造来在处理腔室内分别在上支撑水平和下支撑水平上支撑衬底的上衬底支撑系统和下衬底支撑系统。衬底升降系统被构造来在所述上支撑水平与下支撑水平之间移动所述衬底。还公开一种用于将衬底传送至所述处理腔室、装载锁定室中且将衬底传送至所述处理腔室、装载锁定室之外的传送机器人和传送衬底的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:金京英李升勋
申请(专利权)人:伊雷克托科学工业股份有限公司
类型:
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1