用于激光处理系统的框架及外部围板技术方案

本发明专利技术提供一种用于一激光处理模块的一框架，其特征界定为包括：一平台，其具有一上表面及一下表面；一光学桥，其与该平台的该上表面间隔开且在该上表面上方延伸；及一桥支撑件，其插入于该平台与该光学桥之间且耦接至该平台及该光学桥。选自由该平台及该光学桥组成的群的至少一个包括一夹层面板。该夹层面板可包括一第一板、一第二板及插入于该第一板与该第二板之间的一芯。该第一板及该第二板可借由该芯间接地附接至彼此，且该芯可界定在该第一板与该第二板之间延伸的至少一个通道。该夹层面板亦可包括形成于该夹层面板的一外部处且与该至少一个通道流体连通的一第一孔口，及形成于该夹层面板的该外部处且与该至少一个通道流体连通的一第二孔口。道流体连通的一第二孔口。道流体连通的一第二孔口。

【技术实现步骤摘要】
用于激光处理系统的框架及外部围板
[0001]本申请为申请日为2019年10月15日，优先权日为2018年10月16日，申请号为201980057738.2的专利技术专利的分案申请。
[0002]对相关申请案的交叉参考
[0003]本申请案主张2019年1月4日申请的美国临时申请案第62/788,216号及2018年10月16日申请的美国临时申请案第62/746,364号的权利，所述申请案中的每一者的全部内容以引用的方式并入本文中。


[0004]本专利技术的实施方式是关于供用于诸如激光处理系统的处理系统中的框架、围板、发信及相关态样。

技术介绍

[0005]激光处理系统使用各种气体来控制及影响处理的无数态样。通常使用气体来固持基板、收集碎屑、移动零件、移除热量、使温度稳定等。所述气体的路线及使用可造成各种问题及挑战。使用标准管、管道及软管常常为繁琐、杂乱且困难的。大量气流通过结构元件对程序及结构稳定性具有有限影响。在认识到习知技术的前述及其他限制的情况下，开发以下揭示内容中所描述的实例实施方式。

技术实现思路

[0006]本文中所描述的一个实施方式可特征界定为，一种用于一激光处理模块的框架可特征界定为包括：一平台，其具有一上表面及一下表面；一光学桥，其与该平台的该上表面间隔开且在该上表面上方延伸；及一桥支撑件，其插入于该平台及该光学桥之间且耦接至该平台及该光学桥。选自由该平台及该光学桥组成的群的至少一者包括一夹层面板。该夹层面板可包括一第一板、一第二板及插入于该第一板与该第二板之间的一芯。该第一板及该第二板可借由该芯间接地附接至彼此，且该芯可界定在该第一板与该第二板之间延伸的至少一个通道。该夹层面板亦可包括形成于该夹层面板的一外部处且与该至少一个通道流体连通的一第一孔口，及形成于该夹层面板的该外部处且与该至少一个通道流体连通的一第二孔口。
[0007]本文中所描述的另一实施方式可特征界定为一种用于处理一工件的激光处理模块，其中该模块包括一框架(例如，如上文或在本文中别处所描述)及由该框架的该光学桥支撑的一激光源。在此状况下，该工件可支撑于该框架的该平台上。
[0008]本文中所描述的又一实施方式可特征界定为一种激光处理模块，其包括一系统框架及由该系统框架支撑的一激光源。在此状况下，该系统框架可包括至少一个夹层面板，其包括两个板，该两个板借由插入于该多个板之间的一芯间接地附接至彼此。
[0009]本文中所描述的又一实施方式可特征界定为一种激光处理模块，其包括：一二氧化碳激光，其可操作以产生具有200W或大于200W的一平均功率的一激光光束；及一框架。在
此状况下，该激光可由该框架支撑，且该框架不包括选自由花岗岩、辉绿岩及混凝土组成的群的任何材料。
[0010]本文中所描述的又一实施方式可特征界定为一种激光处理模块，其包括：一二氧化碳激光，其可操作以产生具有200W或大于200W的一平均功率的一激光光束；及一框架。在此状况下，该激光由该框架支撑，且该框架借由不超过三个支撑衬垫支撑于一外表面上。
[0011]本文中所描述的另一实施方式可特征界定为一种激光处理模块，其包括：一框架；一夹盘，其由该框架支撑且经建构以在一处理隔室内支撑一工件；一激光，其可操作以产生经建构以处理该工件的一激光光束；一视觉发信系统，其包括可操作以发射光的至少一个发光元件(例如，其中该视觉发信系统可操作以用该光照明曝露于该处理隔室的至少一个物件)；及一控制器，其通信耦接至该视觉发信系统。在此状况下，该控制器可操作以取决于选自由以下各者组成的群的至少一者而控制该视觉发信系统以改变该光的至少一个特性：该激光处理模块的一功能状态；待在该激光处理模块内处理的工件的类型；待在处理期间形成于该工件中或上的特征的一图案；一生产运作的一状态；该激光处理模块的一产出率；在一工件的处理期间的一循环时间；及一间隔时间。
附图说明
[0012]图1为根据一实施方式的激光处理模块的前立体图。
[0013]图2及图3分别为展示于图1中的激光处理模块的前立体图及侧视图，其中已啮合某些围板以准许使用者进入激光处理模块的内部。
[0014]图4及图5分别为根据一实施方式的展示于图1中的激光处理模块中的系统框架的前立体图及后立体图。
[0015]图6为沿着系统框架的平台下方的平面截取的展示于图4及图5中的系统框架的底座的立体横截面图，其说明根据一个实施方式的支撑件的配置。
[0016]图7为根据一实施方式的展示于图4及图5中的系统框架的底座的底部透视图。
[0017]图8为根据一个实施方式的如图5中所展示的电子排气系统的放大后立体图。
[0018]图9为根据一个实施方式的如图16中所展示的电子排气系统的放大后立体图，其中省略外部板的视图以显露其中的加强件。
[0019]图10为根据一个实施方式的展示于图4及图5中的系统框架的平台的放大立体图，其中省略外部板的视图以显露其中的加强件。
[0020]图11为根据一个实施方式的整合至展示于图4及图5中的系统框架的平台中的真空连接系统的放大立体图。
[0021]图12为根据一个实施方式的展示于图4及图5中的系统框架的光学桥的立体图，其中省略外部板的视图以显露其中的加强件。
[0022]图13及图14为沿着与展示于图4及图5中的系统框架的光学桥及平台相交的不同各别平面截取的立体横截面图。
[0023]图15为光学桥的底面的放大立体图，其中虚线描绘可沿着输送流体(例如，含有一或多种气体及在工件的处理期间产生的任何碎屑)的路径。
[0024]图16为根据一个实施方式的如图12中所展示的光学隔室的净化系统的放大立体图。
[0025]图17为根据一个实施方式的展示于图12及图16中的净化系统的立体图，且突出显示将净化系统流体地连接至形成于展示于图4及图5中的系统框架的壁中的入口的管路。在图17中，突出显示净化连接管道以展示其在系统框架内的建构。
具体实施方式
[0026]本文中参看随附图式来描述实例实施方式。除非另外明确地陈述，否则在图式中，组件、特征、元件等的大小、位置等以及其间的任何距离未必按比例，而是出于清楚的目的而放大。在图式中，相同编号始终指相同元件。因此，可能在参看其他图式时描述相同或类似编号，即使所述编号在对应图式中未提及亦未描述。又，即使未经参考编号指示的元件亦可参看其他图式加以描述。
[0027]本文中所使用的术语仅用于描述特定实例实施方式的目的且并不意欲为限制性的。除非另外定义，否则本文中所使用的所有术语(包括技术及科学术语)皆具有与所属领域中具有通常知识者所理解的含义相同的含义。如本文中所使用，除非上下文另外清楚地指示，否则单数形式“一”及“该”意欲亦包括多个形式。应认识到，术语“包含”在用于本说明书中时指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件及/或组件的存在，但并不排除一或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件及/或其群组的存在或添加。除非本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于处理一工件的激光处理模块，该模块包含：一框架；一激光源，其由该框架支撑；一运动载物台，其由该框架支撑，其中该运动载物台经建构以相对于该框架移动该工件；一围板，其附接至该框架；一第一门围板，其中该第一门围板可相对于该围板移动；且一第二门围板，其对准该第一门围板且可相对于该围板移动，其中该围板、该第一门围板、及该框架界定一处理隔室，其中该运动载物台位于该处理隔室内，其中该第一门围板及该第二门围...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯瑞，
申请(专利权)人：伊雷克托科学工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：