【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空摇摆机械手，包括：抓取样品的夹持机构(14)；在前端连接该夹持机构(14)的传动套管(8)；在前端连接该夹持机构(14)并可滑动地穿设在该传动套管(8)内的传动连杆(9)，该传动连杆(9)相对该传动套管(8)的轴向滑动能够控制该夹持机构(14)的开闭；连接在该传动套管(8)后端以及该传动连杆(9)后端的操纵机构(10)，通过该操纵机构(10)能够控制该传动套管(8)的移动和摆动以及该传动连杆(9)相对该传动套管(8)的轴向滑动进而控制该夹持机构(14)的移动和开闭；密封固定在真空腔体上的法兰(1)，该法兰(1)具有供该传动套管(8)穿设的开口；沿轴向套设在该传动套管(8)外的第一波纹管(6)和直径小于且长度大于该第一波纹管(6)的第二波纹管(13)，该第一波纹管(6)和该第二波纹管(13)彼此通过连接件(7)对接并且设置在该夹持机构(14)和该法兰(1)之间以对该传动套管(8)和该支承机构(20)形成密封，该第一波纹管(6)主要提供弯曲的柔性而该第二波纹管(13)主要提供伸缩的柔性；其特征是，该机械手还包括适于将该传动套管(8)活动支承在该法兰(1)上的支承机构(20)；该法兰...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭晓东，颜世超，谢楠，郭阳，单欣岩，陆兴华，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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