用于从衬底选择性地移除氮化物的方法技术

一种从衬底选择性地移除氮化硅的方法，包括：提供其表面上具有氮化硅的衬底；以及在大于约150℃的温度下，将磷酸和硫酸作为混合酸液体流散布至衬底的表面上。在该方法中，在混合酸液体流的液体溶液通过喷嘴时或在混合酸液体流的液体溶液通过喷嘴之后，将水添加到混合酸液体流的液体溶液中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：安东尼·S·拉特科维奇，杰弗里·W·布特鲍，大卫·S·贝克，
申请(专利权)人：东京毅力科创FSI公司，
类型：
国别省市：