本发明专利技术涉及一种具备非接触式旋转装置的基板洗净装置，作为基板洗净装置，其特征在于包括：下部滚筒(10)，其以下部滚筒轴(11)为中心旋转；上部滚筒(20)，其与所述下部滚筒(10)平行地配备于所述下部滚筒(10)上部；下部粘着滚筒(30)，其平行地配备于所述下部滚筒(10)的下部；上部粘着滚筒(40)，其平行地配备于所述上部滚筒(20)的下部；导辊部(50)，其以翻滚轴(51)为中心旋转，在行进的基板的下部进行引导，使基板通过所述上部滚筒(20)与下部滚筒(10)之间；驱动部(60)，其支撑、固定于框架(1)，使所述导辊部(50)、下部滚筒(10)及上部滚筒(20)中的至少一者旋转；驱动部(60)，其支撑、固定于框架(1)，使所述导辊部(50)、下部滚筒(10)及上部滚筒(20)中的至少一者旋转。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄善伍，
申请(专利权)人：考姆爱斯株式会社，
类型：
国别省市：
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