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本发明涉及一种具备非接触式旋转装置的基板洗净装置，作为基板洗净装置，其特征在于包括：下部滚筒(10)，其以下部滚筒轴(11)为中心旋转；上部滚筒(20)，其与所述下部滚筒(10)平行地配备于所述下部滚筒(10)上部；下部粘着滚筒(30)，其...
该专利属于考姆爱斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过考姆爱斯株式会社授权不得商用。

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