用于在衬底中形成孔径的装置和方法制造方法及图纸

一种在具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧的衬底中形成孔径的方法包括用激光束照射所述衬底以在所述衬底内形成激光加工特征件并具有侧壁。用蚀刻剂蚀刻所述侧壁以改变所述激光加工特征件的至少一个特性。所述蚀刻可包括将所述蚀刻剂从所述衬底的所述第一侧和所述第二侧引入所述激光加工特征件。还公开了一种用于形成孔径的装置和系统。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：安迪·E·虎柏，
申请(专利权)人：伊雷克托科学工业股份有限公司，
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