【技术实现步骤摘要】
本文中所描述的具体实例一般关于用于激光能量的相位阵列射束操纵的系统及技术。
技术介绍
1、激光微机械加工领域中的许多程序需要在空间上与相邻脉冲完全分开(在工件处)的脉冲。若这些脉冲在空间上重叠，则多种负面效应可发生，诸如局部热累积，其借由超速激光或脉冲羽流相互作用抵消「非热消融」的有益效应。当今目前先进技术激光以高重复率(亦即，在1mhz至100mhz及更高)提供高功率脉冲。因此，为高效利用此类激光，可需要使用具有适当高定位带宽的射束操纵系统。举例而言，声光偏转器(acousto-opticdeflector；aod)提供大于检流计接近3个数量级的定位带宽(亦即，相较于检流计的约2.5khz，aod为约1mhz)。虽然由多边形镜面启用的高速射束操纵已作为在完全光点间距情况下实现按比例调整至>>1mhz激光重复率的一个解决方案引起许多关注，但采用限于「高填充因子」问题的子集。随着基于激光的材料处理的发展继续进行以使得能够形成较小且需要较高准确度的特征，将最终需要能够在超过由aod提供的定位带宽的定位带宽下导向高重复率激光脉冲且...
【技术保护点】
1.一种系统，所述系统包含：
2.如权利要求1的系统，其进一步包含排列于所述光学放大器的光学输出端的分光镜，所述分光镜被配置以反射所述组合第二光学信号且透射所述组合第一光学信号。
3.如权利要求2的系统，其进一步包含第一光侦测器，其被排列以接收由所述分光镜反射的所述组合第二光学信号并且反射对应第一侦测信号。
4.如权利要求3的系统，其进一步包含控制电路，其被配置以至少部分基于所述第一侦测信号而输出所述控制信号至所述多个相位调变器以稳定从所述多个相位调变器输出的所述分裂第二光学信号的所述相位。
5.如权利要求2的系统，其进
<...【技术特征摘要】
1.一种系统，所述系统包含：
2.如权利要求1的系统，其进一步包含排列于所述光学放大器的光学输出端的分光镜，所述分光镜被配置以反射所述组合第二光学信号且透射所述组合第一光学信号。
3.如权利要求2的系统，其进一步包含第一光侦测器，其被排列以接收由所述分光镜反射的所述组合第二光学信号并且反射对应第一侦测信号。
4.如权利要求3的系统，其进一步包含控制电路，其被配置以至少部分基于所述第一侦测信号而输出所述控制信号至所述多个相位调变器以稳定从所述多个相位调变器输出的所述分裂第二光学信号的所述相位。
5.如权利要求2的系统，其进一步包含:
6.如权利要求5的系统，其进一步包含以通信方式耦接至所述第二光侦测器的输出端及所述多个相位调变器中的每个相位调变器的输入端的控制电路，其中所述控制电路被配置以产生并输出所述控制信号。
7.如权利要求6的系统，其中所述控制电路被配置以至少部分基于所述第二侦测信号而输出所述控制信号至所述多个相位调变器以稳定从所述光学放大器输出的所述分裂第一光学信号的所述相位。
8.如权利要求5的系统，其进一步包含被排列以接收所述组合第一光学信号的所述第一部分的谐波转换模块，所述谐波转换模块被配置以修改所述组合第一光学信号的所述第一部分的所述波长。
9.如权利要求8的系统，其进一步包含透镜，其被排列在所述光学放大器和所述谐波转换模块之间，其中所述透镜被配置以将在所述谐波转换模块所接收的在所述输入第一光学信号的所述第一部分中的光准直。
10.如权利要求5的系统，其进一步包含被排列以接收所述组合第一光学信号的所述第一部分且被配置以使所述组合第一光学信号的所述第一部分偏转的射束定位系统。
11.如权利要求1的系统，其进一步包含被排列及配置以产生所述第一光学信号的种子激光。
12.如权利要求1的系统，其中所述第一波长在1000nm至1150nm的范围内。
13.如权利要求1的系统，其中所述多个相位调变器中的相位调变器的数目大于100。
14.如权利要求1的系统，其进一步包含可操作以响应于控制信号而调变所述输入第一光学信号...
【专利技术属性】
技术研发人员：杰恩·克雷能特，贾斯汀·雷德，詹姆斯·布鲁克伊塞，
申请(专利权)人：伊雷克托科学工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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