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一种在具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧的衬底中形成孔径的方法包括用激光束照射所述衬底以在所述衬底内形成激光加工特征件并具有侧壁。用蚀刻剂蚀刻所述侧壁以改变所述激光加工特征件的至少一个特性。所述蚀刻可包括将所述蚀刻剂从所述衬底的所述第一侧...
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