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一种从衬底选择性地移除氮化硅的方法，包括：提供其表面上具有氮化硅的衬底；以及在大于约150℃的温度下，将磷酸和硫酸作为混合酸液体流散布至衬底的表面上。在该方法中，在混合酸液体流的液体溶液通过喷嘴时或在混合酸液体流的液体溶液通过喷嘴之后，将水...
该专利属于东京毅力科创FSI公司所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创FSI公司授权不得商用。

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