【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种磁控溅射靶材护罩，其特征在于，包括：绝缘柱，所述绝缘柱的一端固定于镀膜腔室内壁；第一护罩，呈板状结构，所述第一护罩与所述绝缘柱的另一端连接，以使所述第一护罩固定于所述镀膜腔室内壁，所述第一护罩开设有第一通孔，所述第一通孔可引导沉积物等杂质通过以落入所述镀膜腔室内壁；第二护罩，呈板状结构，所述第二护罩的数量为至少一个，所述第二护罩可拆卸地安装于所述第一护罩端部，所述第一护罩和所述第二护罩形成收容腔，所述收容腔用于收容阴极靶材。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李晨光，徐少东，
申请(专利权)人：南昌欧菲光科技有限公司，深圳欧菲光科技股份有限公司，苏州欧菲光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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