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一种磁控溅射靶材护罩，包括绝缘柱、第一护罩和至少一第二护罩，第一护罩通过绝缘柱固定于镀膜腔室内壁，第一护罩开设有第一通孔以引导沉积物等杂质通过落入镀膜腔室内壁，第二护罩可拆卸地安装于第一护罩端部，与第一护罩形成收容腔以收容阴极靶材；上述磁控...该专利属于南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司授权不得商用。