用于磁控管溅射的磁场发生装置制造方法及图纸

用于磁控管溅射的跑道形磁场发生装置包括直线部分和角落部分，直线部分包括磁性基座、设置在其表面上的中央永磁体、和设置在它两侧并带有间隔的侧面永磁体；中央永磁体和侧面永磁体被垂直地磁化以具有相反的极性；角落部分包括非磁性基座、设置在其表面上的中央磁极元件、半圆形或半多边形形式的外围磁极元件、和布置在两磁极元件之间的、磁化方向与目标表面平行的多个永磁体；并且与中央磁极元件相对的所述多个永磁体的磁极具有与中央永磁体的与所述目标相对的磁极相同的极性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗山义彦，三田正裕，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：
国别省市：