稀土抛光粉及其制备方法技术

技术编号：9220346 阅读：161 留言：0更新日期：2013-10-04 15:32

本发明专利技术公开了一种稀土抛光粉及其制备方法，所述稀土抛光粉，其特征在于，包括如下重量百分比的组分：氧化硅6～10%，稀土氧化物90～94%。本发明专利技术的稀土抛光粉，不引入容易引起划伤、环境污染等的氟，保证了抛光的精度；通过对碳酸稀土预处理，得到了特定的晶型，确保了镧以固溶体的形式存在；通过二氧化硅的引入，抑制了抛光过程中氢氧化镧的形成。本发明专利技术具有生产效率高，成本低、无污染，抛光粉的耐磨性和抛光效率高等特定，适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密密器件的表面抛光加工。