半导体装置及其制造方法制造方法及图纸

技术编号:9199403 阅读:105 留言:0更新日期:2013-09-26 03:22
本发明专利技术提供一种可微细化的半导体装置及其制造方法。本发明专利技术的半导体装置具备:第1导电型的第1半导体层;第2导电型的基极层,被设置在所述第1半导体层上;第1导电型的第2半导体层,被设置在所述基极层上;多个栅电极,栅电极的上端比所述基极层的上表面位于上方,栅电极的下端比所述基极层的下表面位于下方,隔着栅极绝缘膜与所述第1半导体、所述第2半导体层及所述基极层接触;绝缘部件,被配置在所述栅电极上,所述绝缘部件的上表面比所述第2半导体层的上表面位于下方;以及导电膜,在所述栅电极之间,与所述栅电极相隔规定的距离,将所述第2半导体层的从上端至下端、以及所述第2半导体层及所述绝缘部件的上端覆盖。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体装置,具备:第1导电型的第1半导体层;第2半导体层,设置在所述第1半导体层上,为第1导电型,有效杂质浓度比所述第1半导体层的有效杂质浓度低;第2导电型的基极层,设置在所述第2半导体层上;第1导电型的第3半导体层,设置在所述基极层上;多个栅电极,上端位于所述基极层的上表面的上方,下端位于所述基极层的下表面的下方,隔着栅极绝缘膜与所述第2半导体层、所述基极层及所述第3半导体层相接;绝缘部件,配置在所述栅电极上,上表面位于所述第3半导体层的上表面的下方;导电膜,在所述栅电极之间,与所述栅电极相隔规定的距离,将所述第3半导体层的从上端至下端、以及所述第3半导体层及所述绝缘部件的上端覆盖;场板...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:西胁达也大田刚志安原纪夫新井雅俊河野孝弘
申请(专利权)人:株式会社东芝
类型:发明
国别省市:

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