【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于外延沉积的反应腔，包括：顶部设有第一敞口的第一腔体；装设于所述第一腔体内的加热器；装设于所述加热器上方的衬底托盘；以及喷淋装置，所述喷淋装置装设于所述第一敞口上，用于与所述衬底托盘相互对应并限定喷淋装置与衬底托盘间的区域为反应区，喷淋装置往所述反应区内喷射反应气体；其特征在于，还包括第二腔体，所述第二腔体内形成一密闭空间，至少所述第一敞口和所述喷淋装置设置在所述第二腔体的密闭空间内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄允文，田益西，
申请(专利权)人：光垒光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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