The invention discloses a MOCVD device comprises a reaction cavity, the cavity wall, the formation of the reaction chamber; a cavity cover, the opening at the top of the reaction chamber; carrying disc, which is arranged in the reaction chamber at the bottom; the spray head is arranged at the top of the reaction chamber, the spray head is provided with a plurality of air inlet area for different gas into the reaction chamber, each intake area is arranged on the spraying port, an outlet port is communicated with the reaction cavity mouth spray, spray port and the inlet pipe spools vertical; variety, which are respectively communicated with the inlet region corresponding to the air outlet of the air inlet pipe through the cavity inlet port cover with the spray port the air inlet pipe is positioned in the cavity of the outer cover. The MOCVD device so that different reaction chamber gas through the pipeline into their mouth, entering into the reaction chamber through the inlet area and the corresponding spray on the gas makes the reaction chamber of the uniform distribution, and the air is a reaction chamber of the gas distribution uniformity.
【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD设备反应腔体
本专利技术涉及MOCVD设备,更具体地说是涉及一种MOCVD设备反应腔体。
技术介绍
MOCVD设备是半导体行业的基础性设备,而我国在该领域一直依赖于进口,随着国家能源的紧缺和半导体照明工程的发展,国产MOCVD设备的研发工作重要性更加凸显。而MOCVD设备的核心部件之一是反应室的进气系统,目前主流的做法是在腔体盖上设计多个进气点,以保证进气时反应腔内的气场的均匀性,这样做缺点主要是每个进气点都设置了质量流量计,因此成本较高,且工艺调试非常复杂,可复制性差。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种成本低、工艺调试简单、可复制性好的MOCVD设备反应腔体,保证了进气时反应腔内的气场均匀性本专利技术的技术方案为:一种MOCVD设备反应腔体,包括:腔体壁,其形成反应腔;腔体盖,其设置在所述反应腔的顶端开口处;载片盘,其设置在所述反应腔的底部;喷淋头,其设置在所述反应腔的顶部,所述喷淋头上设置有供不同气体进入所述反应腔的多种进气区域,每种进气区域上设置有喷淋口,所述喷淋口的出气端口与所述反应腔连通,所述喷淋口与所述载片盘垂直;多种进气管道,分别与对应的进气区域连通,进气管道的出气口穿过所述腔体盖与所述喷淋口的进气端口连通,所述进气管道的进气口位于所述腔体盖外。所述喷淋头内设置有冷却水道,所述喷淋头上设置有冷却水出管和冷却水进管,所述冷却水进管的出水口与所述冷却水道的进水口连通,所述冷却水进管的进水口穿过所述腔体盖与外部连通,所述冷却水出管的进水口与所述冷却水道的出水口连通,所述冷却水出管的出水口穿过所述腔体盖与外部连通。所述每种 ...
【技术保护点】
一种MOCVD设备反应腔体,其特征在于,包括:腔体壁,其形成反应腔;腔体盖,其设置在所述反应腔的顶端开口处;载片盘,其设置在所述反应腔的底部;喷淋头,其设置在所述反应腔的顶部,所述喷淋头上设置有供不同气体进入所述反应腔的多种进气区域,每种进气区域上设置有喷淋口,所述喷淋口的出气端口与所述反应腔连通,所述喷淋口与所述载片盘垂直;多种进气管道,分别与对应的进气区域连通,进气管道的出气口穿过所述腔体盖与所述喷淋口的进气端口连通,所述进气管道的进气口位于所述腔体盖外。
【技术特征摘要】
1.一种MOCVD设备反应腔体,其特征在于,包括:腔体壁,其形成反应腔;腔体盖,其设置在所述反应腔的顶端开口处;载片盘,其设置在所述反应腔的底部;喷淋头,其设置在所述反应腔的顶部,所述喷淋头上设置有供不同气体进入所述反应腔的多种进气区域,每种进气区域上设置有喷淋口,所述喷淋口的出气端口与所述反应腔连通,所述喷淋口与所述载片盘垂直;多种进气管道,分别与对应的进气区域连通,进气管道的出气口穿过所述腔体盖与所述喷淋口的进气端口连通,所述进气管道的进气口位于所述腔体盖外。2.根据权利要求1所述的MOCVD设备反应腔体,其特征在于,所述喷淋头内设置有冷却水道,所述喷淋头上设置有冷却水出管和冷却水进管,所述冷却水进管的出水口与所述冷却水道的进水口连通,所述冷却水进管的进水口穿过所述腔体盖与外部连通...
【专利技术属性】
技术研发人员:李致文,张勇,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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