【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种反应腔，包括腔体内衬和冷却腔体，所述腔体内衬套设在所述反应腔内并围绕反应腔的反应区域；所述反应腔还包括吹扫结构，所述吹扫结构用于向所述冷却腔体与所述腔体内衬之间的空间通入吹扫气体；其特征在于：所述吹扫结构包括从所述冷却腔体外穿过所述冷却腔体，延伸到所述冷却腔体与所述腔体内衬之间的空间的第一进气管，所述第一进气管朝向腔体内衬一端具有出气口，从所述第一进气管的出气口到所述腔体内衬面向所述冷却腔体的表面最短距离的连线方向为第一方向，吹扫气体从所述出气口导出的方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向成夹角。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：仁君，谭华强，
申请(专利权)人：光垒光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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