金属有机化合物化学气相沉积加热器制造技术

本发明专利技术公开了一种金属有机化合物化学气相沉积加热器，包括支座，所述支座上设有绝缘层，所述绝缘层上设置有若干支架，所述支架上连接有加热体。电阻丝布置更均匀，温度均匀性高；承载电流的截面积增加，功率高，可以实现快速的升温和降温；矩形截面的加热丝排布好后，加热平面的高低一致性非常好；制造工艺简单，成本比板材加工的加热体大幅降低；单相阻值便于调整，保温时的单相加热加热功率的自动化控制更容易，提高温度均匀性；当需要增大加热面积实现更多芯片沉积，加热面积可以用增加圈数N来增加加热面积，成本相对较低，而且容易实现。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及LED发光芯片的核心生产设备里的一种加热器，具体涉及一种金属有机化合物化学气相沉积加热器。
技术介绍
金属有机化合物化学气相沉淀(MOCVD)是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD设备是LED发光芯片的核心生产设备。MOCVD技术的关键之一是，加热器能够提供一个均匀、稳定的温度场。另外，为了降低LED芯片的生产成本，提高生产效率的最便捷的方式是增加反应室的容积，增加单炉芯片的数量和容纳更大尺寸的蓝宝石衬底，例如目前蓝宝石衬底的尺寸正从4英寸向6英寸甚至8英寸转变, 这需要加热器提供更大的与之匹配的加热面积。目前的加热器结构设计使得这种增加加热面积的成本非常高昂，而且难度更大。另一方面，加热器有一定的使用寿命，届时昂贵的MOCVD加热器成本增加了产品的成本。现有的电阻加热体形式:第一种，加热体为螺旋状钨丝，螺旋状钨丝在一个平面上按照一定的形状均匀排布，螺旋状钨丝下面有难熔金属支撑片。优点是，成本低，可以很方便的通过增加加热丝的数量来增加加热面积。缺点是(I)螺旋状丝的加热面的平面度不高，影响加热均匀性；(2) 加热丝截面积小，承本文档来自技高网...

【技术保护点】
金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：包括支座(4)，所述支座(4)上设有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)上设置有若干支架(2)，所述支架(2)上连接有加热体(1)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：都业志，李玉花，
申请(专利权)人：苏州艾默特材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：