【技术实现步骤摘要】
本申请涉及金属有机化合物气相沉积领域，特别是涉及一种金属有机化合物气相沉积设备及其加热器。
技术介绍
1、金属有机化合物气相沉积(metal organic chemical vapour deposition，mocvd)是一种制备混合半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮化物薄膜材料的技术。加热器是金属有机化合物气相沉积设备的重要部件，目前的加热器主要有金属电阻加热器，金属电阻加热器分为3-4个区，沿中心向外同心圆形分布。加热器采用高熔点的钨或钨合金、铼或铼合金作为加热材料，铼金属通常作为最内圈和最外圈的发热材料。
2、金属有机化合物气相沉积设备在工艺过程中，对对热场稳定性要求非常高，热场温差需要小于±0.2℃。铼和钨金属，由于热膨胀系数较大以及高温强度降低的缘故，在反复的快速升降温过程中会产生严重弯曲、扭曲变形，进而导致加热器变形。加热器变形易导致加热器与腔体其他部件接触，进而发生短路，而且加热器变形会严重影响金属有机化合物气相沉积工艺的热场稳定性。另外，加热器变形是加热器失效的主要原因，导致加热器使用寿命有限。
...【技术保护点】
1.一种加热器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，当所述安装座为金属安装座时，还包括：
3.如权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述金属垫片为下述任一种：
4.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，还包括：
5.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述加热器主体上设有螺栓过孔，所述安装座上设有与所述螺栓匹配的螺牙孔。
6.如权利要求5所述的加热器，其特征在于，还包括：
7.如权利要求5所述的加热器，其特征在于，当所述安装座为金属安装座时，还包括：<...
【技术特征摘要】
1.一种加热器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，当所述安装座为金属安装座时，还包括：
3.如权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述金属垫片为下述任一种：
4.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，还包括：
5.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述加热器主体上设有螺栓过孔，所述安装座上设有与所述螺栓匹配的螺牙孔。
6.如权利要求5所述的加热器，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：都业志，
申请(专利权)人：苏州艾默特材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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