温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及金属有机化合物气相沉积领域，公开了一种金属有机化合物气相沉积设备及其加热器，包括：用于与金属有机化合物气相沉积设备固定连接的安装座；加热器主体，加热器主体包括石墨发热芯体和热解氮化硼涂层，热解氮化硼涂层包裹在石墨发热芯体的表面；用...
该专利属于苏州艾默特材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾默特材料技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。