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本发明公开了一种金属有机化合物化学气相沉积加热器，包括支座，所述支座上设有绝缘层，所述绝缘层上设置有若干支架，所述支架上连接有加热体。电阻丝布置更均匀，温度均匀性高；承载电流的截面积增加，功率高，可以实现快速的升温和降温；矩形截面的加热丝排...
该专利属于苏州艾默特材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾默特材料技术有限公司授权不得商用。

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