【技术实现步骤摘要】
201610245107
【技术保护点】
一种双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法,在双频电感耦合射频放电等离子体喷射化学气相沉积系统中进行;其特征在于,采用氩气,氢气和甲烷混合气体为等离子体源气体,在混合气体中,氩气,氢气和甲烷的流量分别为为1‑5slm,氢气流量为0.2‑1slm,甲烷流量与氢气的流量比为1%‑8%;射频电感耦合放电采用双频率激发和维持等离子体,总激发功率为1‑10KW,高频功率为500‑2000W,低频功率为2500‑10000W,高频率与低频率的频率比在3~4范围;激发出的等离子体炬以等离子体运动轴线与衬底法线夹角为60°~90°的掠射角掠过衬底表面;沉积系统中的背底真空为10‑2‑10‑1Pa,当工作气体通入后,首先高频放电激发等离子体起辉,然后升高气压至预定压强5000‑15000Pa,打开低频电源,加热维持等离子体;基材以机械镶嵌或者真空钎焊的方式固定在具有水冷功能的基座上,基材的尺寸为1‑6cm2,衬底边缘距等离子体发生器喷口的距离为0.5‑3.0cm,沉积过程中,衬底温度保持在850℃~1100℃之间。
【技术特征摘要】
1.一种双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法,在双频电感耦合射频放电等离子体喷射化学气相沉积系统中进行;其特征在于,采用氩气,氢气和甲烷混合气体为等离子体源气体,在混合气体中,氩气,氢气和甲烷的流量分别为为1-5slm,氢气流量为0.2-1slm,甲烷流量与氢气的流量比为1%-8%;射频电感耦合放电采用双频率激发和维持等离子体,总激发功率为1-10KW,高频功率为500-2000W,低频功率为2500-10000W,高频率与低频率的频率比在3~4范...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈广超,左勇刚,李佳君,白旸,刘浩,袁禾蔚,
申请(专利权)人:中国科学院大学,
类型:发明
国别省市:北京;11
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