【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种非晶金属氧化物薄膜晶体管的制备方法,其特征在于,依次包括如下步骤:a.在衬底上制备并图形化金属导电层作为栅极;b.在所述金属导电层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层;c.在所述栅极绝缘层上沉积非晶金属氧化物薄膜并图形化作为有源层;d.在所述有源层上沉积金属层然后图形化作为源、漏电极;e.对背沟道进行稳定化处理;f.在所述源、漏电极上沉积第二绝缘薄膜作为钝化层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐苗,罗东向,邹建华,陶洪,王磊,彭俊彪,
申请(专利权)人:广州新视界光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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