安装头单元、部件安装装置和基板制造方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
安装头单元、部件安装装置和基板制造方法
本公开涉及一种将电子部件安装在基板上的部件安装装置、用于部件安装装置的安装头单元以及制造这样的基板的方法。
技术介绍
第3772372号日本专利(下文称为专利文献1)对使用工具头(toolhead)的部件装配装置(部件安装装置)进行了说明。在该部件装配装置中，工具头包括吸附和保持电子部件的多个吸嘴。工具头配置为，可在与基板的安装面平行的平面上在基板上方移动，基板为其上要安装电子部件的目标。多个吸嘴安装在固定在基轴的下侧的头部周围。工具头包括对多个吸嘴供给正压空气和负压空气的机构。多个吸嘴通过被供给负压空气将电子部件一一保持，并通过被供给正压空气而将所保持的电子部件安装在基板上。例如，在基板上安装电子部件时，工具头将头部旋转一个预定旋转角度。这样，工具头按顺序一一选择多个吸嘴，并将吸嘴保持的每个电子部件安装在(例如)单个基板上。在专利文献1的工具头中，为了单独形成正压和负压路径，在工具头的基轴内提供管状件。具体地，正压空气提供给管状件，负压空气提供给管状件外部的基轴。
技术实现思路
但是，问题在于，专利文献1的工具头的结构复杂。因...
【技术保护点】
一种安装头单元，包括：旋转体，包括：旋转轴，负压路径，设置在所述旋转轴内，且被配置为使负压气体在其内流动，非负压路径，被配置为使非负压气体在其内流动，且设置在所述旋转轴内，以在所述旋转轴的轴向上与所述负压路径并排，以及隔板，设置在所述旋转轴内，且被配置为将所述负压路径与所述非负压路径分隔；喷嘴，包括被配置为使气体在其内流动的流路，与所述旋转体连接，使得所述流路与所述旋转体的负压路径和非负压路径连通，并且被配置为能够通过被提供来自所述负压路径的负压气体来吸附部件；以及阀门机构，被配置为在要被提供给所述喷嘴的气体的负压状态与非负压状态之间切换。
【技术特征摘要】
2012.02.28 JP 2012-0411301.一种安装头单元，包括：旋转体，包括：旋转轴，负压路径，设置在所述旋转轴内，且被配置为使负压气体在其内流动，非负压路径，被配置为使非负压气体在其内流动，且设置在所述旋转轴内，以在所述旋转轴的轴向上与所述负压路径呈一条直线，以及隔板，设置在所述旋转轴内，且被配置为将所述负压路径与所述非负压路径分隔；喷嘴，包括被配置为使气体在其内流动的流路，与所述旋转体连接，使得所述流路与所述旋转体的负压路径和非负压路径连通，并且被配置为能够通过被提供来自所述负压路径的负压气体来吸附部件；以及阀门机构，被配置为在要被提供给所述喷嘴的气体的负压状态与非负压状态之间切换；其中，所述负压路径和所述非负压路径同轴设置。2.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，所述旋转体的旋转轴包括：第一端部，以及第二端部，位于所述第一端部的相对侧，并且所述安装头单元进一步包括被配置为一体支撑所述旋转轴的第一端部和第二端部的支架。3.根据权利要求2所述的安装头单元，其中，所述支架包括：第一支架部分，包括所述负压气体的供给路径，并与所述旋转轴的第一端部连接，所述负压气体的供给路径与所述旋转轴的负压路径连通，以及第二支架部分，包括所述非负压气体的供给路径，并与所述旋转轴的第二端部连接，所述非负压气体的供给路径与所述旋转轴的非负压路径连通。4.根据权利要求3所述的安装头单元，其中，所述旋转体被形成为使得所述负压路径的容积大于所述非负压路径的容积。5.根据权利要求4所述的安装头单元，其中，所述旋转体的旋转轴包括沿所述旋转轴的轴向的通孔，并且所述旋转体进一步包括具有所述隔板的管状体，在所述旋转轴的通孔内所述管状体距第一端部比距第二端部更近。6.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，所述旋转体被形成为使得所述负压路径的容积大于所述非负压路径的容积。7.根据权利要求1所述的安装头单元，其中，所述阀门机构包括：壳体，包括连接路径，所述连接路径与所述负压路径和所述非负压路径连接，并且能够向所述喷嘴提供负压气体和非负压气体，所述壳体与所述旋转体连接，以及阀体，设置在所述壳体内，被配置为在所述负压路径与所述壳体的连接路径的连通以及所述非负压路径与所述连接路径的连通之间切换。8.根据权利要求1所述的安装头单元，进一步包括：第二旋转体，包括接合部分，并且可旋转地连接至所述旋转轴的外周部分，其中，所述旋转体包括与所述第二旋转体的接合部分接合的接合部分，并且被配置为将所述喷嘴保持为能够...
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