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一种安装头单元、部件安装装置和基板制造方法，该安装头单元包括旋转体、喷嘴和阀门机构。旋转体包括：旋转轴；设置在旋转轴内以使负压气体在其内流动的负压路径；使非负压气体在其内流动、设置在旋转轴内以在旋转轴的轴向方向与负压路径并排的非负压路径；以...
该专利属于索尼公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尼公司授权不得商用。

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