半导体装置制造方法及图纸

技术编号:9144555 阅读:135 留言:0更新日期:2013-09-12 05:57
本发明专利技术涉及一种半导体装置。根据一个实施例,半导体装置包括第一半导体区域、第二半导体区域、第三半导体区域、第四半导体区域、绝缘膜、控制电极、第一电极和第二电极。第一半导体区域包括碳化硅,并具有第一部分。第二半导体区域设置在第一半导体区域的上侧上,并包括碳化硅。第三半导体区域和第四半导体区域设置在第二半导体区域上,并包括碳化硅。电极设置在膜上。第二半导体区域具有第一区域和第二区域。第一区域与第三半导体区域和第四半导体区域接触。第二区域与第一部分接触。第一区域的杂质浓度高于第二区域的杂质浓度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体装置,包括:第一半导体区域,包括第一导电类型的碳化硅,所述第一半导体区域具有第一部分;第二半导体区域,设置在所述第一半导体区域的上侧上且与所述第一部分相邻,所述第二半导体区域包括第二导电类型的碳化硅;第三半导体区域,设置在所述第二半导体区域的上侧上且与所述第一部分间隔开,所述第三半导体区域包括所述第一导电类型的碳化硅;第四半导体区域,设置在所述第二半导体区域的上侧上,所述第四半导体区域包括所述第二导电类型的碳化硅;绝缘膜,设置在所述第一半导体区域、所述第二半导体区域和所述第三半导体区域的上侧上;控制电极,设置在所述绝缘膜上;第一电极,电连接至所述第三半导体区域;以及第二电极,电连接至...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:河野洋志四户孝铃木拓马西尾让司
申请(专利权)人:株式会社东芝
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1