工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种即使采用机械结构来把持搬运对象物也能实现小型化的工业用机器人。机器人（１）具有：手部（３、４）、以及包括保持手部的手部保持臂（７）在内的多关节臂部（５）。手部（３、４）具有：与晶片（２）抵接来把持晶片的把持部（４２、５２）、以及朝着把持晶片的方向对把持部施力的施力部件，手部保持臂（７）具有随着多关节臂部（５）的伸缩动作而相对于手部（３、４）相对转动的凸轮部件。在凸轮部件的内周侧形成有与把持部（４２、５２）抵接的凸轮面，该凸轮面形成为：将晶片从收纳部中搬出之前使把持部（４２、５２）从晶片退避，且随着将晶片从收纳部中搬出时多关节臂部（５）的伸缩动作而使把持部（４２、５２）朝着把持晶片的方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。技术背景一直以来，将搬运对象物从收纳搬运对象物的收纳部搬出并将搬运对象物 朝着收纳部搬入的工业用机器人得到了广泛利用。作为这种工业用机器人，已 知有一种将作为搬运对象物的半导体晶片从作为收纳部的真空室搬出并将半 导体晶片朝着真空室搬入的工业用机器人(例如参照专利文献l)。在专利文献1中记载的工业用机器人组装在半导体设备的制造系统中使 用，该工业用机器人将半导体晶片从加载锁定室(真空室，半导体晶片被从外 部搬入其中)搬出，并将半导体晶片朝着用于对半导体晶片进行规定处理的处理室(真空室)搬入。另外，该工业用机器人也配置于在周围配置有加载锁定 室和处理室的传送室(真空室)之中。近年来，为了提高生产效率，要求工业用机器人搬运半导体晶片的速度高 速化。另一方面，为了在搬运速度高速化时半导体晶片在供半导体晶片载放的 手部上不产生错位，需要在手部上可靠地把持半导体晶片。对此，在大气中使 用的工业用机器人广泛采用了通过真空吸附来把持半导体晶片的方法，但配置 在真空室内的工业用机器人则无法通过真空吸附来把持半导体晶片。因此，在 专利文献1中，作为用于响应搬运速度高速化要求的技术方案，提出了一种在 手部上把持半导体晶片的机械式夹持机构。在专利文献1中提出的夹持机构由安装在手部上并与半导体晶片抵接的 杠杆机构以及安装在将手部可转动地保持的臂上并使杠杆机构动作的动作部 件构成。另外，动作部件配置在偏离手部的转动中心的位置上。专利文献l:日本专利特开2000 — 308988号公报然而，在专利文献l所记载的夹持机构中，由于动作部件配置在偏离手部 的转动中心的位置上，因此夹持机构在径向上大型化。因此，专利文献l所记 载的工业用机器人很难在径向上使臂与手部之间的连结部分小型化，从而导致 工业用机器人也很难实现小型化。
技术实现思路
因此，本专利技术的课题在于提供一种即使采用机械结构来把持搬运对象物也 能实现小型化的工业用机器人。为了解决上述技术问题，本专利技术的对搬运对象物进行搬运的工业用机器 人，其特征在于，包括装设搬运对象物的手部；具有包括将手部可转动地保 持在前端侧的手部保持臂在内的两个以上的臂、在对搬运对象物进行搬运时伸 縮的多关节臂部；以及将多关节臂部可转动地保持的本体部，手部包括装设部， 该装设部具有与搬运对象物抵接来把持搬运对象物的把持部、以及对把持部 朝着把持搬运对象物的方向施力的施力部件，手部保持臂包括凸轮部件，该凸 轮部件形成有与把持部抵接的凸轮面，并随着多关节臂部的伸縮动作以手部相 对于手部保持臂的转动中心为中心相对于手部相对转动，凸轮面如下形成在 对搬运对象物进行搬运之前使把持部从搬运对象物退避，在对搬运对象物进行 搬运时随着多关节臂部的伸縮动作使把持部朝着把持搬运对象物的方向移动。在本专利技术的工业用机器人中，在对搬运对象物进行搬运之前使把持部从搬 运对象物退避并在对搬运对象物进行搬运时随着多关节臂部的伸縮动作使把 持部朝着把持搬运对象物的方向移动的凸轮面形成在以手部相对于手部保持 臂的转动中心为中心相对于手部相对转动的凸轮部件上。即，在本专利技术的工业 用机器人中，在凸轮部件上形成有凸轮面，因此，即使是采用机械结构来把持 搬运对象物，也能使手部保持臂与手部之间的连结部分在径向上小型化。其结 果是，本专利技术可使工业用机器人小型化。在本专利技术中，最好手部包括作为把持部的、在手部的两端侧分别把持搬运 对象物用的第一把持部和第二把持部，凸轮面包括与第一把持部抵接的第一 凸轮面、以及与第二把持部抵接的第二凸轮面。若这样构成，则即使手部包括在手部的两端侧分别把持搬运对象物用的第一把持部和第二把持部两个把持 部，也能使手部保持臂与手部之间的连结部分在径向上小型化。另外，还可利 用第一凸轮面和第二凸轮面使第一把持部和第二把持部独立地动作。在本专利技术中，工业用机器人最好包括作为手部的、以相对于手部保持臂的 转动中心相同的形态上下配置且彼此可相对转动的第一手部和第二手部。若这 样构成，则可使用两个手部来使搬运对象物出入，因此，可縮短使搬运对象物 出入时的作业时间。另外，若这样构成，则即使工业用机器人包括第一手部和 第二手部两个手部，也能使第一手部及第二手部与手部保持臂之间的连结部分 在径向上小型化。在本专利技术中，手部保持臂最好包括作为凸轮部件的与第一手部的把持部抵 接的第一凸轮部件以及与第二手部的把持部抵接的第二凸轮部件。若这样构 成，则可利用第一凸轮部件和第二凸轮部件使第一手部的把持部和第二手部的 把持部独立地动作。在本专利技术中，把持部最好在所述手部的转动中心部具有与所述凸轮面抵接 的凸轮面抵接部。若这样构成，则可在所述手部的转动中心部利用所述凸轮面 容易地控制把持部的位置。另外，这种情况下若用可转动的凸轮面抵接滚筒来 构成凸轮面抵接部，则可减小凸轮部件相对于手部相对转动时凸轮面与把持部 之间的接触阻力。在本专利技术中，最好装设部包括供搬运对象物载放的载放部件，把持部配置 在作为转动中心侧的、载放部件的基端侧。另外，载放部件最好在前端侧具有 与搬运对象物的端部抵接的抵接部。若这样构成，则可将装设部作为基座来构 成所述把持部。另外，在将搬运对象物从收纳部中搬出时的多关节臂部的伸縮 动作开始之际，即使把持部未把持搬运对象物，在伸縮动作开始时搬运对象物 的端部也会与抵接部抵接，因此，可抑制搬运对象物的错位。另外，在将搬运 对象物朝着收纳部搬入时的多关节臂部的伸縮动作结束之前，即使把持部未把 持搬运对象物，在伸縮动作结束之前搬运对象物的端部也会与抵接部抵接，因 此，可抑制搬运对象物的错位。在本专利技术中，把持部最好具有与搬运对象物抵接的搬运对象物抵接部。若 这样构成，则可容易地与载放在载放部件上的搬运对象物抵接并将其把持。另 外，这种情况下若用与搬运对象物抵接并可转动的搬运对象物抵接滚筒来构成 搬运对象物抵接部，则在把持部与搬运对象物抵接时即使搬运对象物在手部上 产生了错位，也可在不损伤搬运对象物的情况下将搬运对象物朝着规定位置适 当地引导。在本专利技术中，把持部最好朝着把持搬运对象物的把持方向和从搬运对象物 退避的退避方向直线状移动。若这样构成，则可使把持部的配置空间变窄，可 实现手部的小型化、薄型化。这种情况下，对于进行直线状移动而言，最好以 将所述手部可转动地保持的手部保持臂的转动中心为中心来形成所述凸轮部 件的所述凸轮面，并使所述把持部具有与所述凸轮面抵接的凸轮面抵接部。另 外，最好所述凸轮面形成为随着所述多关节臂部的伸缩动作、所述手部相对 于所述手部保持臂转动的动作，在搬运所述搬运对象物之前，使所述把持部从 所述搬运对象物退避，而且，所述凸轮面形成为在所述多关节臂部为了搬运 所述搬运对象物而进行了伸縮动作时，通过所述手部相对于所述手部保持臂转 动，使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动。在本专利技术中，把持部最好包括被朝着把持方向和退避方向直线状引导的至 少两个轴部件。若这样构成，则可利用两个轴部件来防止把持部以把持部的移 动方向为轴中心进行旋转。如上所述，本专利技术的工业用机器人即使采用机械结构来把持搬运对象物也 能实现小型化。附图说明图1是表示本专利技术实施形态的工业用机器人的侧视图。图2是表示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用机器人，用于对搬运对象物进行搬运，其特征在于，包括：　装设所述搬运对象物的手部；　多关节臂部，该多关节臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持臂在内的两个以上的臂，并在搬运所述搬运对象物时进行伸缩；以及　将所述多关节臂部可转动地保持的本体部，　所述手部包括装设部，该装设部具有：与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及对所述把持部施力的施力部件，　所述手部保持臂包括凸轮部件，该凸轮部件形成有与所述把持部抵接的凸轮面，并随着所述多关节臂部的伸缩动作以所述手部相对于所述手部保持臂的转动中心为中心相对于所述手部相对转动，　所述凸轮面如下形成：在搬运所述搬运对象物之前使所述把持部从所述搬运对象物退避，在搬运所述搬运对象物时随着所述多关节臂部的伸缩动作使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：矢泽隆之，小山淳之介，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]