传递基板的机器人和方法、以及制造末端受动器组件的方法技术

本发明专利技术提供使用于基板机器人的一末端受动器的若干具体实施例。在一具体实施例中该末端受动器组件包含一腕部、以及连结至该腕部的具有间隔分离关系的一第一和一第二末端受动器。该第一末端受动器含有连结至该腕部的一基座以及一末梢其连结至位在该腕部相反侧的该基座上。该基座及该末梢可由相同或不同材料制成。该第一及第二末端受动器可具有不同共振频率来减少振动。或者，对该第一和第二受动器施加一低放射率涂层。该低放射率涂层可还具有复数个压力释放槽，用以减少或避免在该涂层与该在下面的末端受动器因为不同的热膨胀而使涂层剥落。

【技术实现步骤摘要】
多区末端受动器组件
一般而言，本专利技术的具体实施例有关用以在一处理系统中处理大面积基板的一末端受动器组件。
技术介绍
诸如一主动阵列或薄膜晶体管(TFT)显示器、液晶显示器(LCD)、等离子体显示器及其类似的平板显示器，通常是用作为一电脑或电视显示器、移动电话显示器、个人数字应用助理(PDA)、以及正在成长中的其他许多设备中。平板显示器通常包括具有一层液晶材料夹于其间的二片玻璃板。该等玻璃板至少其中一片玻璃板包含一配置于其上面的导电薄膜，用以连结一电源。从该电源施加电力至该导电性薄膜，用以改变该液晶材料的配向而产生一图案显示。随着平板显示器技术受到市场认同，对更大型显示器、高产量低制造成本的需求，也带动设备厂商发展新系统来提供平板显示器制造厂更大尺寸的玻璃基板。目前的玻璃处理设备通常是设计成可提供高达一平方公尺的基板。预料在最近的将来，处理设备会被建造来提供更大尺寸的基板。玻璃基板处理的实施，通常是对基板施行复数个连续处理，用以在该基板上制造出元件、导体、以及绝缘体。每一该等处理通常是在一建造来实施一或更多处理步骤的一工艺处理室内实施。为了有效率地完成整个连续的处理步骤，通常数个处理处理室被连结至一中心传送处理室，该中心传送处理室装有一机器人，用以协助在该等处理处理室之间传送该基板。具有如此架构的处理平台，一般习称为「组合机床(cluster tool)」。这类用于玻璃基板处理的组合机床，可以购自AKT公司，该公司是Applied Materials，Inc.，of Santa Clara，Caiifornia.的全部自拥有子公司。当玻璃基板的尺寸增加，用以操作和处理该等基板的制造设备亦必须变大。-->该操作基板的设备(例如上述的传送机器人)的尺寸增加，会增加许多技术上的挑战，必须加以克服以维持基板可被精确地传送。例如，一用以操作平板基板的传送机器人，具有一组由一腕部(wrist)支撑的悬臂梁式末端受动器，用以支撑基板的下面。然而，该需要充分支撑大面积基板的该长的末端受动器容易″下垂″或″松垂″。该末端受动器的悬垂必须借助较大的机器人动作范围及/或较大的构件余隙来调整，但是此两者都会造成工具成本上升。该末端受动器可由一单片陶瓷制成，用以减少下垂，因为陶瓷材料具有高杨氏模量(Young's modulus)。然而，因为陶瓷在烘焙时会收缩20～30％，烘焙炉最少必须比完成品大20～30％。不容易找到如此大的烘焙炉来制造该末端受动器。因此，由于烘焙炉的尺寸限制及高制造成本，不容得到用于大尺寸基板的大尺寸单片末端受动器。因此，需要一种用于大尺寸基板的末端受动器。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一末端受动器组件，用于一传送机器人。本专利技术的末端受动器组件包含一腕部、以及连结至该腕部的具有间隔分离关系的一第一和一第二末端受动器。该第一末端受动器含有连结至该腕部的一基座、以及连结至一位于该腕部相反侧的该基座末梢。该基座及该末梢可由相同或不同材料制成。该第一及第二末端受动器可具有不同共振频率来减少振动。或者，对该第一和第二受动器提供一低放射率涂层(low emissivitycoating)。该低放射率涂层可还具有复数个压力释放槽，用以减少或避免在该涂层与该在下面的末端受动器因为不同的热膨胀而使涂层剥落。以下将结合附图对本专利技术的具体实施例进行详细说明，以更清楚理解本专利技术的目的、特点、和优点。为了有助于了解，在这些附图中的相同元件以相同的标号来表示。附图说明图1是一组合机床的简化示意图。图2示出适用于图1的组合机床的一传送机器人的一末端受动器和腕部组件-->的一具体实施例。图3示出一多片末端受动器的接合的一具体实施例。图4示出用以连结一末端受动器至传送机器人的该腕部的一托架的一具体实施例。图5是一具有低放射率涂层的末端受动器的部分立体图。图6是一具有热隔断层的末端受动器的部分立体图。具体实施方式图1是一至少具有本专利技术的末端受动组件的组合机床100的简化示意图。该组合机床100通常包含一传送处理室104、复数处理处理室102、以及至少一负载锁定处理室112。处理处理室102通常被设置成可实施该处理的一个或多个工序。例如，该处理处理室102可作为一CVD处理室、一蚀刻处理室或是任何其他习知的处理处理室。该中心传送处理室104通常包含一传送机器人106，适合将一基板114(以虚线表示)传送入或传送出该负载锁定处理室112以及该各种处理处理102。该基板传送机器人106通常具有一末端受动组件120。该末端受动组件120包含从一腕部108延伸出来的复数个末端受动器110。当机械人106传送该基板114时，该末端受动器110适合将基板114支撑于其上面。虽然该具有末端受动器110的传送机器人106适合用于习知基板，但是此处所述的机器人对于大面积基板特别有用，亦即，具有面积大至四平方米甚至更大的基板。而且，虽然该末端受动器组件120显示连结至位在该传送处理室104中的传送机器人106，然而该传送机器人106也可以配置在例如电子束测试(EBT)处理室的一工序处理室中。一例示的EBT处理室揭示于申请日为2004年2月12日的美国专利申请第10/778,982号中，。而且，该末端受动器可以利用于其他自动化应用上，包括希望在非真空环境下有效率地传送一大面积基板的各式应用。图2示出一末端受动器组件120的具体实施例。在图2所示的具体实施例中，腕部108保持有并排方式的复数个末端受动器110，如此该末端受动器110可以支撑一基板。虽然图2显示有4个末端受动器110其连结至腕部108，-->但可以考虑其他数量的末端受动器110，例如亦可有效利用至少2个。该末端受动器110包含连结至一末梢204的一基座202。传送机器人106的该腕部108和其他构件通常选用可在传送基板时减少热效应的材料来制造。举出但未受到限定的适合制造该腕部108的材料，有铝/碳化硅复合材料、玻璃陶瓷(特别是例如Neoceram N-0及Neoceram N-11)、铝/铁复合材料、碳、碳基复合材料、铸造铝合金、商业纯铬、石墨、钼、钛合金、钼钨合金、商业纯钼、Zerodur、Invar、钛Ti-6Al-4V合金、8090铝MMC、以及金属基复合材料等。金属基复合材料通常含有铝及其他轻金属的铝或其他轻金属(例如镁、钛、铝、镁合金、钛合金、以及铝合金)、以及高达30％的填料，例如碳化硅及其他类似物。该末端受动器110的基座202和该末梢204，通常由具有高温度耐久性的材料制造而成。该材料的密度亦是一种要因素，因为其末端可能会由于其自身重量而下垂或松垂。其结果可能因应用在高温而恶化。下述表1显示可以使用来制造该末端受动器110的非全包括的种种材料。该表提供各材料的对应密度(g/cm3)、以及杨氏模量(giga-Pascals；GPa)。而且，表1的最后一栏显示杨氏模量除以密度(一显示硬度/密度的有关参数)。该计算出的数值越高，该末端受动器110越不会发生下垂或松垂。相反地，该数值越低，该末端受动器110越会发生松垂。该末端受动器110的该基座202及该末梢204的制造材料选择，可以选自可以减少该末端受动器110下垂的一材料或一组合材料，或是可以提供依据系统设计本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种一基板机器人用的末端受动器组件，包含：一腕部；一基座，连结至该腕部的第一面；一末梢，连结至位于该腕部相反侧的该基座上，该末梢和该基座界定一第一末端受动器；以及一第二末端受动器，以与该第一末端受动器具有间隔 分离关系的方式连结至该腕部的第一面。

【技术特征摘要】
US 2004-6-25 10/876,4391.一种一基板机器人用的末端受动器组件，包含：一腕部；一基座，连结至该腕部的第一面；一末梢，连结至位于该腕部相反侧的该基座上，该末梢和该基座界定一第一末端受动器；以及一第二末端受动器，以与该第一末端受动器具有间隔分离关系的方式连结至该腕部的第一面。2.如权利要求1所述的末端受动器组件，其特征在于该基座和该末梢是由不同材料制造而成。3.如权利要求2所述的末端受动器组件，其特征在于该基座是由一金属、金属基复合材料、金属合金或CFRP制造而成。4.如权利要求2所述的末端受动器组件，其特征在于该末梢是由陶瓷制造而成。5.如权利要求1所述的末端受动器组件，其特征在于该基座和该末梢是由相同材料制造而成。6.如权利要求5所述的末端受动器组件，其特征在于该基座和该末梢是由陶瓷制造而成。7.如权利要求1所述的末端受动器组件，其特征在于该第一末端受动器和该第二末端受动器具有不同共振频率。8.如权利要求1所述的末端受动器组件，其特征在于该第一末端受动器还包含：形成于该基座和该末梢的一低放射率涂层。9.如权利要求8所述的末端受动器组件，其特征在于该涂层是以溅射或电镀其中之一种方式被溅射或电镀在该基座和该末梢上。10.如权利要求8所述的末端受动器组件，其特征在于该涂层是由铝、铬、或镍形成。11.如权利要求8所述的末端受动器组件，其特征在于还包含：复数个形成在该涂层内的压力释放槽。12.如权利要求1所述的末端受动器组件，其特征在于该第一末端受动器还包含：位于该基座和该末梢之间的一衬垫夹层。13.如权利要求12所述的末端受动器组件，其特征在于该衬垫是由橡胶或铝薄膜制造而成。14.如权利要求1所述的末端受动器组件，其特征在于还含有：配置在该腕部和该基座之间的一托架。15.如权利要求14所述的末端受动器组件，其特征在于还含有：配置在该托架和该基座之间的一衬垫。16.如权利要求15所述的末端受动器组件，其特征在于该衬垫是由金属或橡胶制造而成。17.如权利要求14所述的末端受动器组件，其特征在于还含有：复数固定螺丝，用以调整该第一末端受动器与该腕部的对准。18.如权利要求14所述的末端受动器组件，其特征在于该托架还含有：一主体，具有适合收容该基座的通道；以及一对肩部，形成在该主体的一上部。19.如权利要求18所述的末端受动器组件，其特征在于该托架适合装入一形成在该腕部内的槽中，该托架的肩部是安置在一形成在该槽内的一对配对凸缘上。20.如权利要求19所述的末端受动器组件，其特征在于还含有：复数固定螺丝穿过形成于贯穿该肩部的复数孔，并且可调整地往该肩部下面延伸以衔接该凸缘的上表面，从而可控制地调整该第一末端受动器与该腕部的对准。21.如权利要求19所述的末端受动器组件，其特征在于还含有：一衬垫，配置...

【专利技术属性】
技术研发人员：高如松本，秋广细川，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]