工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种即使以机械结构来把持搬运对象物也可抑制对搬运对象物的冲击的工业用机器人。机器人（１）包括：装载晶片（２）的手部（３Ａ）、以及具有保持手部（３Ａ）的第二机臂（６）的多关节机臂部（４）。手部（３Ａ）包括：用于把持晶片（２）的把持部（２８Ａ）、以及朝着把持晶片（２）的方向对把持部（２８Ａ）施力的施力部件，第二机臂（６）具有偏心部件（３１Ａ），该偏心部件（３１Ａ）固定在从手部（３Ａ）的转动中心偏离的位置上，在晶片（２）的搬出开始前与把持部（２８Ａ）抵接而使把持部（２８Ａ）从晶片（２）退避，随着将晶片（２）搬出时的多关节机臂部（４）的伸缩动作，偏心部件（３１Ａ）以使把持部（２８Ａ）朝着把持晶片（２）的方向移动的形态相对于把持部（２８Ａ）相对移动，在将晶片（２）搬出时的多关节机臂部（４）的伸缩动作的减速中，把持部（２８Ａ）开始把持晶片（２）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。
技术介绍
以往，将搬运对象物从收纳搬运对象物的收纳部搬出并将搬运对象物向收 纳部搬入的工业用机器人得到了广泛使用。作为这种工业用机器人，已知有一 种将作为搬运对象物的半导体晶片从作为收纳部的真空室内搬出并将半导体 晶片向真空室内搬入的工业用机器人(例如参照专利文献l)。专利文献1所述的工业用机器人被组装在半导体设备的制造系统中， 该工业用机器人将半导体晶片从自外部接收半导体晶片的预备减压室(真 空过渡室(日文口一 F 口 '7夕千^ >"一))搬出，并将半导体晶片向对半导体晶片进行规定处理用的处理室(真空室)搬入。该工业用机器人 配置在移送室(真空室)中，移送室配置在预备减压室和处理室的周围。近年来，为了提高生产效率，要求工业用机器人搬运半导体晶片的速 度高速化。另一方面，为了在搬运速度高速化时半导体晶片也不会在载放 半导体晶片的手部上产生错位，需要在手部上可靠地把持半导体晶片。在 此，在大气中使用的工业用机器人广泛采用的是通过真空吸附来把持半导 体晶片的方法，但配置在真空室内的工业用机器人却无法通过真空吸附来 把持半导体晶片。因此，在专利文献1中，作为响应这种搬运速度高速化要求的技术方案，提出了一种在手部上把持半导体晶片的机械式的夹持机 构。在专利文献1中提出的夹持机构包括安装于手部、与半导体晶片抵 接的杆机构；以及安装在将手部可转动地保持的机臂上、使杆机构动作的 动作部件。动作部件配置在从手部的转动中心偏离的位置上。另外，通过机臂与手部之间的相对转动来使杆机构动作。在专利文献1中提出的夹持 机构通过像这样使杆机构动作来进行半导体晶片的把持、释放。专利文献l:日本专利特开2000-308988号公报近年来，半导体设备正在小型化、薄型化。随着这种半导体设备的小 型化、薄型化，半导体晶片也在薄型化。然而，在专利文献1中提出的半 导体晶片的夹持机构并未针对把持薄型化的半导体晶片作充分考虑。因此， 在专利文献1所述的半导体晶片的夹持机构把持半导体晶片时，可能会给 半导体晶片造成冲击，使半导体晶片受损。另外，在专利文献1所提出的半导体晶片的夹持机构中，通过机臂与 手部之间的相对转动，用配置在从手部的转动中心偏离的位置上的动作部 件使杆机构动作，从而进行半导体晶片的把持、释放。因此，把持、释放 半导体晶片用的结构复杂化。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种即使以机械结构来把持搬运对象物也可 抑制对搬运对象物的冲击的工业用机器人。因此，本专利技术的目的在于提供一种能以简单的结构来进行搬运对象物的把 持、释放的工业用机器人。为了解决上述技术问题，本专利技术是一种进行搬运对象物从收纳搬运对象物 的收纳部搬出和搬运对象物向收纳部的搬入的工业用机器人，其特征在于，包 括装载搬运对象物的手部；具有包括将手部可转动地保持在前端侧的手部保 持机臂在内的两个以上的机臂、在搬运对象物相对于收纳部出入时进行伸縮的 多关节机臂部；以及将多关节机臂部可转动地保持的本体部，手部包括用于 与搬运对象物抵接来把持搬运对象物的把持部、以及朝着把持搬运对象物的方 向对把持部施力的施力部件，手部保持机臂包括偏心部件，该偏心部件以从手 部相对于手部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在手部保持机臂上，并在搬 运对象物被从收纳部搬出开始之前与把持部抵接而使把持部从搬运对象物退 避，随着将搬运对象物从收纳部搬出时的多关节机臂部的伸縮动作，偏心部件以使把持部朝着把持搬运对象物的方向移动的形态相对于把持部相对移动，在将搬运对象物从收纳部搬出时的多关节机臂部的伸縮动作的恒速中或减速中，把持部通过施力部件的施力而开始把持搬运对象物。在本专利技术的工业用机器人中，偏心部件在搬运对象物被从收纳部搬出开始 之前与把持部抵接而使把持部从搬运对象物退避，并随着将搬运对象物从收纳 部搬出时的多关节机臂部的伸縮动作以使把持部朝着把持搬运对象物的方向 移动的形态相对于把持部相对移动。在将搬运对象物从收纳部搬出时的多关节 机臂部的伸縮动作的恒速中或减速中，把持部通过施力部件的施力而开始把持 搬运对象物。因此，在将搬运对象物从收纳部搬出时，可在多关节机臂部的伸縮动作开 始后到多关节机臂部的伸缩动作变为恒速或减速为止的较长时间内利用偏 心部件来控制把持部的移动速度。因此，与专利文献1所述的夹持机构相 比，可使把持部缓慢地朝搬运对象物抵接来把持搬运对象物。其结果是， 在本专利技术的工业用机器人中，即使以使用了把持部、偏心部件和施力部件 的机械结构来把持搬运对象物，也可抑制对搬运对象物的冲击。在本专利技术中，最好把持部在搬运对象物被向收纳部搬入开始之前通过 施力部件的施力来把持搬运对象物，随着将搬运对象物向收纳部搬入时的多 关节机臂部的伸縮动作，偏心部件以使把持部从搬运对象物退避的方向移动的 形态相对于把持部相对移动，在将搬运对象物向收纳部搬入时的多关节机臂部 的伸縮动作的加速中或恒速中，把持部开始从搬运对象物退避。若这样构成， 则可在将搬运对象物向收纳部搬入时的多关节机臂部的伸縮动作的加速或恒 速开始后到多关节机臂部的伸縮动作中的较长时间内使把持部退避。艮卩， 可使把持部较缓慢地退避。其结果是，可抑制构成把持部的零件等的损伤。在本专利技术中，最好把持部配置在作为手部保持机臂侧的手部的基端侧，手 部在前端侧具有与搬运对象物的端部抵接的抵接部。若这样构成，则即使是在 将搬运对象物从收纳部搬出时的多关节机臂部的伸縮动作的恒速中或减速中 通过施力部件的施力而开始把持搬运对象物的情况下，在将搬运对象物从收纳 部搬出时的多关节机臂部的伸縮动作的加速时等，搬运对象物的端部也会与抵接部抵接，因此，可抑制搬运对象物的错位。另外，即使是在将搬运对象物向 收纳部搬入时的多关节机臂部的伸縮动作的加速中或恒速中使把持部开始从 搬运对象物退避的情况下，在将搬运对象物向收纳部搬入时的多关节机臂部的 伸縮动作的加速等时，搬运对象物的端部也会与抵接部抵接，因此，可抑制搬 运对象物的错位。在本专利技术中，最好把持部具有与搬运对象物抵接并可转动的滚筒。若这样 构成，则即使在把持部与搬运对象物抵接时搬运对象物在手部上产生了错 位，也可在不会给搬运对象物造成损伤的情况下将搬运对象物向规定位置 适当地引导。在本专利技术中，最好把持部朝着把持搬运对象物的把持方向和从搬运对象物 退避的退避方向直线状移动。若这样构成，则可使把持部的配置空间变窄，可 实现手部的小型化、薄型化。在本专利技术中，最好把持部具有被朝着把持方向和退避方向直线状引导的至 少两个轴部件。若这样构成，则可利用两个轴部件来防止以把持部的移动方向 为轴心的把持部的旋转。在本专利技术中，最好把持部具有筒状的凸轮部件，该凸轮部件在内周侧形成有与偏心部件抵接的凸轮面。若这样构成，则能以使用了偏心部件和凸轮部件 的简单结构来使把持部朝着把持搬运对象物的把持方向和从搬运对象物退避的退避方向直线状移动。为了解决上述技术问题，本专利技术是一种进行搬运对象物从收纳搬运对象物 的收纳部搬出和搬运对象物向收纳部的搬入的工业用机器人，其特征在于，包 括装载搬运对象物的手部；具有包括将手部可转动地保持在前端侧的手部保 持机臂在内的两个以上的机臂、在搬运对象物相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用机器人，用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入，其特征在于，包括：装载所述搬运对象物的手部；多关节机臂部，该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持机臂在内的两 个以上的机臂，在所述搬运对象物相对于所述收纳部出入时进行伸缩；以及　将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部，所述手部包括：用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及朝着把持所述搬运对象物的方向对所述把持部施力的施力部件， 所述手部保持机臂包括偏心部件，该偏心部件以从所述手部相对于所述手部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在所述手部保持机臂上，并在所述搬运对象物被从所述收纳部搬出开始之前与所述把持部抵接而使所述把持部从所述搬运对象物退避，随着将所述搬运对象物从 所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作，所述偏心部件相对于所述把持部相对移动，以使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动，在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作的恒速中或减速中，所述把持部通过所述施力部 件的施力而开始把持所述搬运对象物。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：矢泽隆之，小山淳之介，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]