【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片精洗装置，其特征在于，所述装置包括上料部件、传送部件、清洗部件、卸料部件，所述上料部件通过清洗部件与卸料部件连接，所述传送部件设置在上料部件上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈翼翔，
申请(专利权)人：上海艾力克新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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