有机薄膜形成装置制造方法及图纸

提供能容易地除去着膜于防着板的表面的有机薄膜的有机薄膜形成装置。有机薄膜形成装置，其具有真空槽、配置于真空槽内的基板台、从在真空槽内露出的供给孔向真空槽内供给有机物气体的气体供给部、和安装于真空槽的内壁面的防着板，在配置于基板台的表面的基板上由有机物气体形成有机薄膜，在防着板的露出的表面上，形成有相对于膜整体的体积，以20%～40%的体积比含有聚四氟乙烯的含有氟树脂的非电解镍膜。含有氟树脂的非电解镍膜对有机薄膜具有脱模性，即使附着有机薄膜，也可以通过高压洗涤等方法容易地除去有机薄膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有机薄膜形成装置，特别涉及将有机物气体供给到真空槽内，在基板的表面有机物气体发生聚合反应，形成有机薄膜的

技术介绍
目前，包含高分子有机物的有机薄膜大多数通过蒸镀聚合法、紫外线固化法形成。蒸镀聚合法和紫外线固化法都是将低分子的有机物气体供给到真空槽内，在基板的表面有机物气体发生聚合反应，形成高分子的有机薄膜的方法，有有机薄膜的均匀电镀性良好的特征。以往的有机薄膜形成装置中，参照图3 (a)，为了防止有机薄膜在真空槽111的内壁面上的着膜，使防着板141保持于固定在真空槽111的内壁面的支架(托架)142上。然而，由于内壁面与防着板141之间形成有间隙，因而在蒸镀聚合法和紫外线固化法中，有机物气体蔓延至该间隙，无法防止在真空槽111的内壁面的着膜。另外，在以往的有机薄膜形成装置中，难以将着膜于内部的有机薄膜剥离，通过喷砂处理、与酸或碱的药品接触的方法来进行除去有机薄膜的操作。然而，在喷砂处理中，存在下述问题，即，母材发生变形，对母材进行表面处理时，表面处理剥离，因而需要重新进行表面处理，成本增高。另外，在与酸或碱的药品接触的方法中，有母材溶解的可能。现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本专利第4112702号公报。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述以往技术的缺点而创作的，其目的在于，提供能够容易地除去在防着板的表面着膜的有机薄膜的有机薄膜形成装置。为了解决上述课题，本专利技术为有机薄膜形成装置，其具有:真空槽、配置于所述真空槽内的基板台、从在所述真空槽内露出的供给孔向所述真空槽内供给有机物气体的气体供给部、和安装于所述真空槽的内壁面的防着板，在配置于所述基板台的表面的基板上，由所述有机物气体形成有机薄膜，其中，在所述防着板的露出的表面上形成含有氟树脂的非电解镍膜，所述含有氟树脂的非电解镍膜相对于膜整体的体积，以20% 40%的体积比含有聚四氟乙烯。本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，与所述防着板的所述表面相反的背面密合于所述真空槽的内壁面。本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，所述防着板的母材包含选自铁、不锈钢、铜合金和铝中的任意一种或两种以上的金属。 本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，在所述供给孔的表面形成了所述含有氟树脂的非电解镍膜。本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，在所述基板台的表面中，在所述基板的周围部分形成有所述含有氟树脂的非电解镍膜。本专利技术为有机薄膜形成装置，其具有两个以上的所述气体供给部。本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，所述有机薄膜为聚脲的薄膜。本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，在与所述基板台的表面相对的位置，配置有发出紫外线的紫外线灯。本专利技术为有机薄膜形成装置，其中，所述有机薄膜为紫外线固化型的丙烯酸薄膜。由于能够通过高压洗涤等容易地除去着膜于防着板的有机薄膜，因而可以减少洗涤作业的工夫和时间。另外，在有机薄膜的除去操作中，含有氟树脂的非电解镍膜不损伤，因而不需要防着板的交换成本。附图说明本专利技术的第一例的有机薄膜形成装置的内部构成图本专利技术的第二例的有机薄膜形成装置的内部构成图 真空槽的槽壁和防着板的放大截面图(a):以往的装置(b):本专利技术的装置 配管插入到真空槽内的端部的平面图。具体实施例方式<第一例的有机薄膜形成装置的结构> 说明本专利技术的第一例的有机薄膜形成装置的结构。·图1表示第一例的有机薄膜形成装置IOa的内部构成图。第一例的有机薄膜形成装置IOa具有:真空槽11、配置于真空槽11内的基板台31、和从在真空槽11内露出的第一、第二供给孔25a、25b向真空槽11内供给有机物气体的第一、第二气体供给部20a、20b。在真空槽11的壁面连接真空排气装置12，以能够将真空槽11内进行真空排气的方式构成。对于基板台31，在表面上预先确定应配置基板的位置，在其表面露出的状态下，配置于真空槽11内。符号35表示配置于基板台31的表面的规定位置的基板。第一、第二气体供给部20a、20b具有:能够容纳固体或液体的有机物材料的第一、第二容纳容器21a、21b，将容纳的有机物材料加热的第一、第二加热装置22a、22b，和一端与第一、第二容纳容器21a、21b内连接、另一端插入到真空槽11内的第一、第二配管23a、23b。第一、第二配管23a、23b插入到真空槽11内的端部的开口为第一、第二供给孔25a、25b，第一、第二供给孔25a、25b在真空槽11内露出。图4表示第一、第二配管23a、23b插入到真空槽11内的端部的平面图。本实施例中，第一、第二供给孔25a、25b如淋浴头那样由大量的直径小的孔构成，但本专利技术不限定于此，第一、第二供给孔25a、25b也包含其它形状的情形。第一、第二容纳容器21a、21b配置于真空槽11的外侧，在内部，配置了作为有机薄膜的材料的第一、第二有机物材料。第一、第二有机物材料可使用它们的蒸气到达基板35上时进行共蒸镀聚合反应而形成有机薄膜的材料。对于第一、第二加热装置22a、22b，这里为线状的电阻加热装置，缠绕安装于第一、第二容纳容器21a、21b的外周，加热第一、第二容纳容器21a、21b内的第一、第二有机物材料，使其能够蒸发。以下将第一、第二有机物材料的蒸气称为第一、第二有机物气体。在第一、第二容纳容器21a、21b内生成的第一、第二有机物气体，通过第一、第二配管23a、23b的内部，从在真空槽11内露出的第一、第二供给孔25a、25b释放到真空槽11内。在第一、第二配管23a、23b上，分别缠绕配管用加热器24a、24b，第一、第二配管23a、23b被加热至比第一、第二有机物气体的冷凝温度更高的温度，使通过内部的第一、第二有机物气体不会在第一、第二配管23a、23b的壁面冷凝。在真空槽11的内壁面，密合安装了防着板41。防着板41的母材包含选自铁、不锈钢、铜合金和铝中的任意一种或两种以上的金属，在防着板41的露出的表面上形成有含有氟树脂的非电解镍膜。含有氟树脂的非电解镍膜，相对于膜整体的体积，以20% 40%的体积比含有聚四氟乙烯(PTFE)，本实施例中，可使用7 ;ws' '7夕y7株式会社的二 7 >/ -J ”。(注册商标)。对含有氟树脂的非电解镍膜的形成方法进行说明，在分散有PTFE的非电解镀镍液中，浸溃表面露出母材的防着板41，在防着板41的表面上使镍和PTFE共析。接着，将防着板41在大气中以380°C 400°C进行热处理，使非电解镍与PTFE牢固地密合。含有氟树 脂的非电解镍膜对有机薄膜具有脱模性，即使附着有机薄膜，通过高压洗涤等方法，可以不损伤含有氟树脂的非电解镍膜而容易地除去有机薄膜。假设在防着板41的表面连续层叠有机薄膜，则有层叠膜的表面部分剥离，剥离的杂质附着于基板35的表面的可能，但如果在产生剥离之前除去有机薄膜，则可以预防该问题。另外，含有氟树脂的非电解镍膜，对母材的粘接性优异，除去有机薄膜时，不会从母材上剥离。因此，进行有机薄膜的除去后，不需要重新形成含有氟树脂的非电解镍膜的成本。图3(b)为真空槽11的槽壁和防着板41的放大截面图。本实施例中，防着板41通过螺钉形状的夹具42螺合于真空槽11，与防着板41的表面相反的背面密合于真空槽11的内壁面。因此，供给到真空槽11内的第一、第二有机物本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大森大辅，内田一也，宫内淳，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：