【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置，具体涉及一种腔体表面温度维持技术。
技术介绍
现有溅镀设备的镀膜腔体冷却皆采取使用系统的统一冷却源来冷却表面温度，但大都忽略腔体并非主动发热源，若使用统一的温度冷却时，会发生腔体温度低于或等于室温，此举不利于内部设置有加热装置的腔体，腔体无形中变成散热源，会使加热源不断的加热以达到腔体内的热平衡，此时必需增加热源加热功率及持续加热的时间，非常浪费能源，也会增加设备的耗电量。
技术实现思路
综上所述，为了克服现有技术不足，本技术的主要目的在于提供一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是:一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置，包括真空帮浦、冷却管路、储水槽及水帮浦组成，冷却水流经真空帮浦后，间接被加热至一定温度后流入储水槽，同时储水槽设有温度计及液位传感器，当温度高于设定温度时，冷却水直接经由电磁阀冷却储水槽内部温度；当液位传感器动作时排水管排出多馀的水，使储水槽保持一定的液位。储水槽的冷却水再经由水帮浦流经薄膜沉积设备腔体使腔体保持一定的温度，此举节省加热冷却水所需的能源，不需另外设置加热系统。本技术进一 步的改进为利用真空帮浦产生的热源加热冷却水。本技术与现有技术相比具有的优点:使用真空帮浦的热源加热冷却水，无需增设加热装置来加热冷却水，减少设备建置成本。附图说明图1系为本技术结构示意图。主要组件符号说明。11...真空帮浦。12...沉积设备腔体。13...储水槽。14...温度计。15...液位传感器。16...排水管。17...电磁阀。18...冷却管路。19...水帮浦。具...
【技术保护点】
一种薄膜沉积设备腔体冷却水加热装置，其包括储水槽、供水管路、水帮浦所组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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