【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于镀膜
，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。
技术介绍
目前，在国内制备镀膜领域中，经常需要用一台设备的多基片样品台做多层膜，并可以用该设备的单基片样品台做合金膜，在机械设计上需要一套在做多层膜可以有效遮挡不工作基片的基片挡板组件，以保证不工作基片不被污染，但在做合金膜时，该基片挡板组件需要拆卸下来，避免遮挡共溅靶的辉光。目前，基片挡板组件的中间轴和下面主动轴是通过豁口销轴的结构实·现上述功能的，如图1所示。但是，豁口和销轴必须得存在一定的间隙，基片挡板组件惯性比较大，上述间隙会造成，长时间运转后初始定位会跑偏。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种可自锁的基片挡板组件。该基片挡板组件实现有效自锁，解决了原来豁口和销轴因间隙产生的跑偏现象。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案一种可自锁的基片挡板组件，其特征在于包括大基板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端部的斜面I相对应...
【技术保护点】
一种可自锁的基片挡板组件，其特征在于：包括大基板挡板(1)、中间轴(2)、主动轴(4)及驱动机构，其中大基板挡板(1)和中间轴(2)设置于真空腔体(8)内，所述大基板挡板(1)设置于中间轴(2)的上端，中间轴(2)的下端端部为斜面I，所述主动轴(4)的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴(2)下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体(8)内，所述主动轴(4)与真空腔体(8)下端的真空室大法兰(3)转动连接，主动轴(4)的另一端上套设有套筒，所述中间轴(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴(4)另一端的斜面II相配合；所述主动轴(4)通过驱动机构驱动旋转、...
【技术特征摘要】
1.一种可自锁的基片挡板组件，其特征在于包括大基板挡板(I)、中间轴(2)、主动轴(4)及驱动机构，其中大基板挡板(I)和中间轴(2)设置于真空腔体(8)内，所述大基板挡板(I)设置于中间轴(2)的上端，中间轴(2)的下端端部为斜面I，所述主动轴(4)的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴(2)下端端部的斜面I相对应的斜面I1、并插入真空腔体(8)内，所述主动轴(4)与真空腔体(8)下端的真空室大法兰(3)转动连接，主动轴(4)的另一端上套设有套筒，所述中间轴(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴(4)另一端的斜面II相配合；所述主动轴(4)通过驱动机构驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭东民，刘丽华，冯彬，孙影，佟雷，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。