互锁控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种互锁控制系统，引入了相互独立的互锁控制模块，从而可以实现对互锁的单独控制，那么能够有效的使得在异常发生时，仅涉及到的腔室停止运作，其他腔室不受影响，从而大大的降低了故障排除的难度，缩短了复机时间，并尽可能的降低了损耗，也就大大的节省了时间和生产成本，有利于提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路制造领域，特别涉及一种互锁控制系统。
技术介绍
在半导体的制造过程涉及方方面面，对机械、水、气、电等有着苛刻的要求，而这些因素通常对环境及人的身体都有着严重的影响，稍有不慎就容易导致重大事故发生，因此，为了降低这些潜在的危险发生的概率，几乎在所有的半导体设备中都设置有互锁(interlock),以便及时的侦测是否有异常发生。然而，在现有的设备中，互锁的设置往往不够合理。例如型号为ASCVT0X-TXZ的集CVD和PVD过程于一体的这类半导体设备中，涉及很多的互锁，具体的，请参考图1，图中示出6个互锁组1，每个互锁组对应于不同的结构，例如不同的腔室，每个互锁组至少包括一个互锁，这些互锁组I皆接通一个互锁总控模块2，如此当任一个互锁组I被触发后(通常互锁组I中一个互锁异常即可触发)，所述互锁总控模块2将发出示警并停止运作的指令，不仅该互锁组I对应的结构(例如是一个CVD腔室)会示警并中止，其他互锁组I所对应的结构(例如其他腔室)也会接收此命令，因此示警而中止。诚然这种设计或许能够有利于技术人员排除故障时提供一相对安全的环境，但是实际上并未起到较好的效果，反而由于该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种互锁控制系统，用于包括多个腔室的半导体设备，所述多个腔室至少包括一个第一腔室和一个第二腔室，其特征在于，包括：多个互锁组及多个互锁控制模块；所述多个腔室一一对应于所述互锁组，所述互锁组能够与所述互锁控制模块相连接，所述多个互锁控制模块相互独立。

【技术特征摘要】
1.一种互锁控制系统，用于包括多个腔室的半导体设备，所述多个腔室至少包括一个第一腔室和一个第二腔室，其特征在于，包括: 多个互锁组及多个互锁控制模块；所述多个腔室一一对应于所述互锁组，所述互锁组能够与所述互锁控制模块相连接，所述多个互锁控制模块相互独立。2.如权利要求1所述的互锁控制系统，其特征在于，所述互锁控制模块的数量大于等于所述腔室的数量。3.如权利要求2所述的互锁控制系统，其特征在于，所述互锁组皆连接于所述互锁控制丰吴块。4.如权利要求1所述的互锁控制系统，其特征在于，所述互锁控制系统还包括互锁总控模块，能够同时控制所...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰万鹏，任逸，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：