用于丝网印刷的短热力曲线炉制造技术

本发明专利技术涉及用于丝网印刷的短热力曲线炉。本发明专利技术提出了一种用于有效干燥基板表面的沉积材料的设备和方法。本文所述的设备和方法有益于移除基板表面上沉积材料的溶剂型材料。在一些情况下，所述材料可以丝网印刷工艺沉积而得。在一个实施例中，丝网印刷腔室适应于在结晶硅基板上沉积图案化材料，接着在干燥腔室中干燥沉积材料。在一个实施例中，丝网印刷腔室和干燥腔室均设在旋转线工具或购自Baccini?S.p.A.的SoftlineTM工具内，所述Baccini?S.p.A.为美国加州圣克拉拉的应用材料公司所拥有。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术与用于在基板表面上沉积图案化层的系统有关，例如丝网印刷工艺。
技术介绍
太阳能电池是将太阳光直接转换成电能的光电(PV)装置。PV装置一般具有一或多个P-η接合面。每一接合面在半导体材料内包含二个不同区域，其中一侧记为P型区，另一侧记为η型区。PV电池的ρ-η接合面曝照太阳光(由光子能组成)后，太阳光通过PV效应直接转换成电能。PV太阳能电池产生特定量的电能，电池则铺装成模块尺寸，以传送所需量的系统功率。PV模块与具有特定框架与连接器的面板结合成一个整体。太阳能电池通常形成于硅基板上，所述硅基板可为单晶的或多晶的硅基板。典型的PV电池包括P型硅晶片、基板或厚度一般小于约0.3毫米(mm)的薄板，且位于P型区顶部的η型硅薄层形成于基板内。过去十年来，光电市场的年增长率已增长超过30%。一些文章指出，全世界的太阳能电池功率制造在不久的将来将超过lOGWp。预估95%以上的光电模块是以硅晶片为基底。较高的市场增长率、加上对大幅降低太阳能电力成本的要求，对便宜地制造高品质光电装置而言，已带来许多严峻的挑战。因此，制造可商业化的太阳能电池的一个主要因素在于通过提高装置产率、提高基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理基板的设备，所述设备包括：第一输送装置，用以传送一或多个基板通过处理区，所述处理区域被部分地围住，其中所述一或多个基板沿第一方向被传送通过所述处理区域；辐射热传构件，用以传递一或多个波长的电磁能至位于所述第一输送装置上的所述一或多个基板；以及对流热传构件，包括：气室，内设加热组件；以及流体输送装置，用以使气体移动经过设置在所述气室内的所述加热组件，且以与第一方向相反的第二方向引导所述气体通过所述处理区内位于所述第一输送装置上的一或多个基板中每一个的表面。

【技术特征摘要】
2008.06.11 IT 2008A000135;2008.06.27 IT 2008A00011.一种用于处理基板的设备，所述设备包括: 第一输送装置，用以传送一或多个基板通过处理区，所述处理区域被部分地围住，其中所述一或多个基板沿第一方向被传送通过所述处理区域； 辐射热传构件，用以传递一或多个波长的电磁能至位于所述第一输送装置上的所述一或多个基板；以及 对流热传构件，包括: 气室，内设加热组件；以及 流体输送装置，用以使气体移动经过设置在所述气室内的所述加热组件，且以与第一方向相反的第二方向引导所述气体通过所述处理区内位于所述第一输送装置上的一或多个基板中每一个的表面。2.如权利要求1所述的设备，其中所述对流热传构件还包括: 所述气室设有在所述处理区域的至少一端的入口，所述入口经定位用于接收被移动通过所述一或多个基板中每一个的表面的气体。3.如权利要求2所述的设备，还包括: 一或多个壁面，部分围住所述第一输送装置和处理区，且所述气室进一步包括出口，所述出口位于所述加热组件与所述处理区之间的所述气室的气流路径中，其中所述出口被设置在所述处理区的与所述入口相反一端处，且其中所述出口被配置为引导气体通过所述被部分围住的处理区域且到达所述入口。4.如权利要求1所 述的设备，还包括: 所述辐射热传构件设有一或多个照灯和电性耦接所述照灯的电源供应器；以及 控制器，用以调整所述照灯传递至所述一或多个基板的电磁能波长。5.如权利要求4所述的设备，其中所述第一输送装置包括:传送带，用以传送所述一或多个基板通过所述处理区且经过所述入口和所述出口。6.如权利要求1所述的设备，还包括: 基板支撑件，耦接至旋转致动器； 丝网印刷腔室，该丝网印刷腔室定位成当所述旋转致动器朝第一方位角度定位时，接收所述基板支撑件，且该丝网印刷腔室配置成在所述一或多个基板的表面上沉积含材料的金属或含材料的电介质；以及 第二输送装置，该第二输送装置定位成当所述旋转致动器朝第二方位角度定位时，传送来自所述基板支撑件的一或多个基板，其中所述第二输送装置可转接所述第一输送装置。7.如权利要求1所述的设备，其中所述第二方向基本平行于所述第一输送装置的表面，所述一或多个基本设置在所述第一输送装置的该表面上。8.如权利要求1所述的设备，其中所述对流热传构件还包括热交换构件，所述热交换构件设有热交换表面，所述热交换表面与通过所述入口接收的气体流体连通。9.一种用于处理基板的设备，所述设备包括: 第一输送装置，用以传送一或多个基板通过处理区，所述处理区域被部分地围住，其中所述一或多个基板沿第一方向传送通过所述处理区域； 辐射热传构件，用以传递一或多个波长的电磁能至位于所述第一输送装置上的所述一或多个基板；以及 对流热传构件，包括: 气室，所述气室设有内部设置的加热组件和入口，其中所述入口位于所述处理区的一端；以及 流体输送装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·巴希尼，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：发明
国别省市：