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本发明涉及用于丝网印刷的短热力曲线炉。本发明提出了一种用于有效干燥基板表面的沉积材料的设备和方法。本文所述的设备和方法有益于移除基板表面上沉积材料的溶剂型材料。在一些情况下，所述材料可以丝网印刷工艺沉积而得。在一个实施例中，丝网印刷腔室适应...
该专利属于应用材料意大利有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料意大利有限公司授权不得商用。

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