基板翻转装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了基板翻转装置。根据本发明专利技术，基板翻转装置通过致动器使升降夹持部件升降。因此，不需要为了包覆并保护致动器的柱塞的第一伸缩管膨胀而向第一伸缩管的内部注入高压空气。即，能够将第一伸缩管的内部维持大气压状态，在第一伸缩管施加有相对小的压力。因此，防止第一伸缩管被损伤，所以提高用于翻转基板的工序的可靠性。并且，柱塞被第一伸缩管包覆并保护，可使用非真空用致动器，因此，具有降低成本的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及可以提高翻转基板的工序的可靠性的同时，能够削减成本的基板翻转>J-U ρ α装直。
技术介绍
目前，对平板显示装置(Flat Panel Display Device)的需要逐渐增加，随之，LCD(Liquid Crystal Display:液晶显不)面板、PDP (Plasma Display Panel:等离子显不面板)、FED (Field Emission Display:场发射显不器)面板、OLED (Organic Light EmittingDiodes:有机发光二极管)面板及VFD (VacuumFluorescent Display:真空突光显示)面板等的研究开发也非常活跃。对IXD面板进行说明。IXD面板是利用液晶的折射率的各向异性而在画面上显示信息的装置，其包括上部基板、下部基板及形成于上述上部基板和上述下部基板之间的液晶层。上述下部基板是驱动元件阵列基板，在上述下部基板形成有多个像素，在上述各个像素上形成有薄膜晶体管等驱动元件。上述上部基板是彩色滤光片基板，其形成有用于体现实际颜色的彩色滤光层。 在上述上部基板及上述下部基板分别形成有像本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板翻转装置，其特征在于，包括：真空状态的主腔室；旋转框架，被上述主腔室支承并能够旋转；固定夹持部件，设置于上述旋转框架的一侧而与上述旋转框架一同旋转，并对上述基板的一表面边缘部进行支承；升降夹持部件，设置在上述旋转框架的另一侧而与上述旋转框架一同旋转，设置成可升降并支承上述基板的另一表面边缘部，当设置于上述升降夹持部件与上述固定夹持部件之间的上述基板通过上述旋转框架的旋转而翻转时，与上述固定夹持部件协同工作而防止上述基板掉落；致动器，具有柱塞，该柱塞的一侧结合在上述升降夹持部件侧并进行直线运动，从而使上述升降夹持部件升降；及第一伸缩管，其一侧结合在上述升降夹持部件，另一侧结合在上述致动器...

【技术特征摘要】
2012.01.31 KR 10-2012-00098301.一种基板翻转装置，其特征在于，包括: 真空状态的主腔室； 旋转框架，被上述主腔室支承并能够旋转； 固定夹持部件，设置于上述旋转框架的一侧而与上述旋转框架一同旋转，并对上述基板的一表面边缘部进行支承； 升降夹持部件，设置在上述旋转框架的另一侧而与上述旋转框架一同旋转，设置成可升降并支承上述基板的另一表面边缘部，当设置于上述升降夹持部件与上述固定夹持部件之间的上述基板通过上述旋转框架的旋转而翻转时，与上述固定夹持部件协同工作而防止上述基板掉落； 致动器，具有柱塞，该柱塞的一侧结合在上述升降夹持部件侧并进行直线运动，从而使上述升降夹持部件升降 '及 第一伸缩管，其一侧结合 在上述升降夹持部件，另一侧结合在上述致动器，用于包覆上述柱塞，并随着上述柱塞的直线运动而进行伸缩。2.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于， 上述致动器是非真空用致动器。3.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于， 上述柱塞的一侧与上述第一伸缩管的一侧形成为一体。4.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于， 在上述升降夹持部件可升降地设有与上述基板接触并支承上述基板的支承垫。5.如权利要求4所述的基板翻转装置，其特征在于， 在上述支承垫和上述升降夹持部件之间，设有朝向上述基板侧弹性支承上述支承垫的弹性部件。6.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于， 上述固定夹持部件设置成相互对置的一对，形成为板状，并分别支承上述基板的一表面边缘部； 上述升降夹持部件设置成相互对置的一对，形成为板状，并分别与上述固定夹持部件对置，分别支承上述基板的另一表面边缘部； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：安承旭，姜明一，金明辰，
申请(专利权)人：株式会社TES，
类型：发明
国别省市：